奕叶 EB-050E 瘦身型探针座
 线性/同步/定位精度 1 微米

规格：
直线运动
行程 12x12x12 （mm）
定位精度 1 微米
牙杆 80 TPI（80 牙/英寸）
尺寸 52 mm W x 96 mm D x 76 mm H
重量 550 g
底座选配 磁铁底/真空开关底/磁铁开关底

奕叶探针座 EB-050 操作手册
恭喜您购买奕叶探针座！ 在使用之前请详细阅读本操作手册,学习正确的操作概念,遵循正确的操作方法及步骤,以发挥最大的使用性能。
使用探针座前必须了解的基本常识
因为探针与被测物 DUT(Device Under Test)之间等同一个界面,角色如同一个接头来传递仪器与元件之间信号的桥梁。探针在 Z 轴旋钮驱动下降时拆解成两个步骤。
第一步骤将探针下降着陆于目标上。
第二步骤根据不同的薄膜材料来调整适当大小的下压力。
这个下压力的大小没办法用肉眼来判断,但是可以依据刮行距离的长短来做参考。不同薄膜材料提供不同的下压力是量测成败的关键原因。 举例来说,如果目标物为铝的材质,氧化铝会伴随在铝目标表面,探针必须刮长一点,下压力大一点,因为必须刺穿氧化铝绝缘层,针尖必须接触到下层的铝目标。但有机薄膜材料的特性就相反,刮行距离短,下压力小一点,避免探针刺穿有机薄膜而点到下面的绝缘层,而测量不到有机薄膜的电信号。
但国产的探针座普遍在线性,精度,机械零件彼此间隙无法消除,质量水平未达标准,就无法按照正规的方式及步骤将探针顺利着陆。着陆之后也无法再继续调整到准确的刮行距离,造成下压力无法适当调整,而使得传到仪器端的信号经常出现无显示,显示异常,不连续,不稳定,不可靠的現象。因为信号在仪器端出了问题,最常看到的错误用法是探针着陆之后而继续将探针用 Z 轴再下降,增加下压的力道,严重者会将芯片顶破。如果这样没办法解决问题的话,在探针已经着陆的情况下,再继续往横向的 X 轴或 Y 轴的移动,碰碰运气。这种做法都会破坏 DUT,也会将探针座的机构产生松动,严重的话两者都会受到致命性的破坏。

奕叶探针座 EB-050 特色
零件组合无间隙： Z 轴下降執行刮行動作時,下降的距离完全转换成为刮行距离。刮行距离调整之后 （同步移动） 探针也不会在 DUT 上晃动而产生针尖在 DUT 上刮来刮去造成信号传递出问题。 而不會產生如信号无法传递,仪器量测曲线异常,无法长时间量测,高速的射频信号损耗过大等等...
机械驱动线性轨迹： Z 轴的直线运动可直接下降探针接触到目标,无需修正 X 轴及 Y 轴。因为线性的 设计,刮行越长下压力呈线性的增加,刮行越短下压力呈线性的减少。也就是说刮行 的长度与下压力成正比。刮行距离成为有意义的参考值,使下压力调整轻松容易。
机械驱动 1 微米/步：因为刮行距离可以达到更精密的调整,所以可将下压力的调整做更细腻的修正,针对不同薄膜种类调整适当的下压力。

操作步骤
1. 将每个轴回复到中央位置,使向前及向后移动的距离均保留 6 毫米移动能力。这是您必须做的初始步骤,因为在操作时眼睛会专注在显微镜目镜上观看,很容易忽略探针针尖已调到极限而继续往同一个方向移动。此时会造成螺丝及螺帽的松动,严重的话会造成螺丝及螺帽崩牙。
2. 将磁铁开关底座的磁铁关掉,探针尖端对准 DUT 将探针座放置在平台上,利用探针针尖,以 DUT 预计下 针目标 1 到 2 毫米以内的距离,修正探针座本体位置,决定好位子将磁铁打开。如果在使用后发现针 尖移动时距离不够,仍可将磁铁开关关掉再继续修正探针座本体的位置,修正好之后将磁铁打开。因下 针的角度是 45 度,所以当 Z 轴下降执行探针刮行时的探针刮行方向是顺着探针尖端往前刮,而探针的方向由探针座方向来决定,也就是说探针座摆放的方向也决定了刮行的方向。

3. 每一个探针座在预计下针的 DUT 上方,模拟 DUT 上预计刮行的起点,终点及长度,将此刮行长度定位在目标的中心位置。

4.用 Z 轴将探针下降使探针针尖的高度保持在目标上方约 1~2 毫米位置,使用探针座 X 轴及 Y 轴的旋钮将针尖移动到下针目标的起点位置上方备便。
5.用 Z 轴将探针下降接触到起点,继续将针尖下降,因为针尖碰触到 DUT 无法再继续下降而将探针针尖朝原先预计的方向刮行到终点结束。

6. 遵照步骤 3,4,5 逐一將每一個探針座上的探针点到目标上。