P-541.TCD
带大孔径的纳米定位器Z向和偏摆平台,100微米 / 0.8毫弧度,平行计量,电容传感器
P-541.Z • P-541.T 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台
低外形,大孔径
-低外形用于实现简易集成:16.5毫米
-通孔尺寸80 毫米×80 毫米
-行程达150微米
-偏摆角达1.2毫弧度
-并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
-传感器技术:便宜的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 可与显微镜平台组合实现更长行程
应用领域
-扫描显微镜 -超分辨率显微镜 -生物技术 -掩模/晶圆定位 -样本定位 -干涉测量 -计量
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
P-541.ZCD
P-541.TCD*
P-541.ZSL
P-541.TSL*
P-541.Z0L
P-541.T0L*
单位
公差
主动轴
Z
Z, θX, θY
Z
Z, θX, θY
Z
Z, θX, θY
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
应变片传感器
应变片传感器
–
–
-20至120 伏时Z向上的开环行程
150
150
150
150
150
150
微米
+20 % / -0 %
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角
–
±0.6
–
±0.6
–
±0.6
毫弧度
+20 % / -0 %
Z向上的闭环行程
100
100
100
100
–
–
微米
θX、θY向上的闭环偏摆角
–
±0.4
-
±0.4
–
–
毫弧度
Z向上的分辨率,开环
0.2
0.2
0.2
0.2
0.2
0.2
纳米
典型值
θX、θY向上的开环分辨率
–
0.02
–
0.02
–
0.02
微弧度
典型值
Z向上的闭环分辨率
0.5
0.5
2.5
2.5
–
–
纳米
典型值
θX、θY向上的闭环分辨率
–
0.08
–
0.25
–
–
微弧度
典型值
Z、θX、θY向上的线性误差
0.03
0.03
0.2
0.2
–
–
%
典型值
Z向上的重复精度
<2
<2
<10
<10
–
–
纳米
典型值
θX、θY向上的重复精度
–
0.01
–
0.05
–
–
微弧度
典型值
θX、θY向上的串扰(Z向运动)
±15
±15
±15
±15
±15
±15
微弧度
典型值
机械特性
Z向上的刚性
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
0.8
牛/微米
±20 %
Z向上的空载谐振频率
410
410
410
410
410
410
赫兹
±20 %
θX、θY向上的空载谐振频率
–
330
–
330
–
330
赫兹
±20 %
负载200克时Z向上的谐振频率
250
250
250
250
250
250
赫兹
±20 %
负载200克时θX、θY向上的谐振频率
–
270
–
270
–
270
赫兹
±20 %
推/拉力大小
50 / 20
50 / 20
50 / 20
50 / 20
50 / 20
50 / 20
牛
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
6.3
6.3
6.3
6.3
6.3
6.3
微法
±20 %
其他
工作温度范围
20 到 80
20 到 80
20 到 80
20 到 80
20 到 80
20 到 80
°C
材料
铝
铝
铝
铝
铝
铝
质量
750
750
730
730
700
700
克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器连接
Sub-D 7W2(公头)
Sub-D25W3(公头)
LEMO
3 × LEMO
–
–
电压连接
Sub-D 7W2(公头)
Sub-D25W3(公头)
LEMO
3 × LEMO
LEMO
3 × LEMO
推荐电控
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
* 并联运动设计;平移运动和偏摆运动的最大位移不能同时实现。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-541.ZCD
带大通光孔径的垂直纳米定位平台,100微米,电容传感器,直接位置测量
P-541.TCD
带大孔径的纳米定位器Z向和偏摆平台,100微米 / 0.8毫弧度,平行计量,电容传感器
P-541.ZSL
带大通光孔径的垂直纳米定位平台,100微米,应变片传感器
P-541.TSL
带大通光孔径的纳米定位器Z向和偏摆平台,100微米/0.8毫弧度,应变片传感器
P-541.Z0L
带大通光孔径的垂直纳米定位平台,150微米,不带传感器
P-541.T0L
带大通光孔径的纳米定位器Z向和偏摆平台,150微米/1.2毫弧度,不带传感器
商品属性 [主动轴] Z [行程] Open-loop:150 μm;Closed-loop:100μm [集成传感器] SGS [刚性] 0.8N/μm [工作温度] 20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.2nm;Closed-loop:2.5nm [压电陶瓷] PICMA® P-885