P-763 紧凑型XY纳米定位系统
带通光孔径
-行程200微米
-带电容式传感器,具有高定位稳定性和分辨率
- 落地面积小,边长为70毫米
-大通光孔径30毫米 × 30毫米
精密级纳米定位系统
双轴,串联运动。带机械杠杆运动放大器的无摩擦柔性铰链接头。电容式位置传感器实现最大稳定性和线性度
PICMA高性能压电陶瓷驱动器
带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器 使用寿命更长、防潮性能佳、工作温度达80摄氏度
应用领域
科研和工业中的样本操作和定位,也适用于透射光应用
初步数据
P-763.22C
单位
主动轴
X, Y
运动和定位
集成传感器
电容式传感器
X、Y向上的闭环行程
200
微米
X、Y向上的开环分辨率
1
纳米
X、Y向上的闭环分辨率
2
纳米
X、Y向上的线性误差
0.02
%
X、Y向上的重复精度
±5
纳米
机械特性
带负载时X向上的谐振频率
180赫兹(260克)
赫兹
负载容量
10
牛
驱动特性
压电陶瓷
PICMA P-887
X、Y向上的电容
12.8
微法
其他
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝、钢
尺寸
70 毫米 × 70 毫米 × 25 毫米
通孔尺寸
30毫米×30毫米
电缆长度
1.5
米
连接
1个Sub-DMix,1个通道,分别用于X和Y轴
P-763.22C
落地面积小、孔径大的XY纳米定位系统,200微米×200微米,直接计量,电容传感器
商品属性 [主动轴] X,Y [行程] Closed-loop:200μm [集成传感器] Capacitive [负载] 10N [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:1nm ; Closed-loop:2nm [压电陶瓷] PICMA® P-887