P-616 NanoCube纳米定位器
用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型并联运动压电系统
- 并联运动设计可在所有空间方向上实现最高刚性
- 即使负载高达100克,高谐振频率也能实现高动态运动
- 单个安装平台的创新型产品设计可实现灵活使用
- 市场上独一无二的带ID芯片功能的纳米定位器
- 市场上行程为100 微米的最小、最轻的NanoCube
应用领域
- 光纤定位和对准 - 扫描显微镜 - 双光子聚合 - 纳米技术和纳米制造 - 光子学/集成光学 - 显微操纵 - 样本定位
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
获得专利的为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
规格
P-616.3C
单位
公差
运动和定位
主动轴
X、Y、Z
-20至120伏时的开环行程
110/轴
微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
100/轴
微米
+20 % / -0 %
分辨率,1s,开环
0.3
纳米
典型值
分辨率,1s,闭环
0.4
纳米
典型值
线性误差
0.03
%
典型值
双向重复精度,1s,10%行程范围内
<10
纳米
典型值
双向重复精度,1s,100%行程范围内
<15
纳米
典型值
传感器
传感器类型
电容式传感器
机械特性
刚度
0.5
牛/微米
±10 %
X/Y/Z向上的空载谐振频率
700
赫兹
±10 %
带38克负载的谐振频率 X/Y/Z
380
赫兹
±20 %
带100克负载的谐振频率 X/Y/Z
250
赫兹
±20 %
推/拉力大小
15
牛
最大
最大允许转矩
0.4
牛米
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885.50
电容
1.5/轴
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20至80
摄氏度
材料
铝、钢
尺寸
40 × 40 × 40
毫米
移动质量(无负载)
0.021
千克
不含电缆的质量
0.125
千克
包含电缆在内的质量
0.4
千克
电缆长度
1.5
米
±10毫米
连接器
D-sub 25W3(公头)
推荐电控
E-503、E-663、E-712、E-727
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-616.3C
并联运动NanoCube XYZ向纳米定位器,100 微米 × 100 微米 × 100 微米 行程, 电容传感器
商品属性 [主动轴] X, Y, Z [行程] Open-loop:110 / axisµm;Closed-loop :100 / axisµm [集成传感器] Capacitive sensors [刚性] 0.5N/µm [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.3nm;Closed-loop :0.4nm [压电陶瓷] PICMA® P-885.50