P-734.2CL
具有最小振摆的高精度XY纳米定位系统,100微米×100微米,电容式传感器,并联计量,LEMO连接器
P-734 XY压电扫描仪
具有最小振摆和通光孔径的高动态系统
-超高精度轨迹控制,特别适用于表面分析和扫描显微镜
- 更佳的响应和多轴精度:并联运动/计量
-行程为100微米×100微米
- 通光孔径56毫米 × 56毫米
- 电容式传感器可实现小于0.4纳米的分辨率
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
P-734.2CL
P-734.2CD
单位
公差
主动轴
X, Y
X, Y
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
开环行程,-20至120伏
110微米×110微米
110微米×110微米
最小(+20 % / -0 %)
闭环行程
100微米×100微米
100微米×100微米
开环分辨率
0.2
0.2
纳米
典型值
闭环分辨率
0.3
0.3
纳米
典型值
线性误差
0.03
0.03
%
典型值
重复精度
<2.5
<2.5
纳米
典型值
螺距
<3
<3
微弧度
典型值
偏转角
<10
<10
微弧度
典型值
平面度
典型值 <5 最大值 10
典型值 <5 最大值 10
纳米
机械特性
刚度
3
3
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
500
500
赫兹
±20 %
200克时的谐振频率
350
350
赫兹
±20 %
500克时的谐振频率
250
250
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
300 / 100
300 / 100
牛
最大
负载容量
20
20
牛
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMA P-885
PICMA P-885
电容
6.2
6.2
微法
±20 %
动态操作电流效率
7.8
7.8
微安/(赫兹 × 微米)
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
质量(包含电缆)
1.04
1.04
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器连接
2 × LEMO
Sub-D特殊
电压连接
4 × LEMO
Sub-D特殊
每1赫兹和1微米的动态操作电流效率,单位为微安。例:10赫兹下10微米的正弦扫描需要约7.8毫安的驱动电流。
推荐控制器/放大器
P-734.2CL:带E-503放大器模块(多通道)或E-505(每轴一个,高性能)和E-509控制器的E-500模块化压电陶瓷控制器系统
P-734.2CD:多通道数字式控制器:E-710 / E-725台式,E-712模块化,E-725高功率,E-761 PCI板
P-734.2CD
具有最小振摆的高精度XY纳米定位系统,100微米×100微米,电容式传感器,并联计量,Sub-D连接器
P-734.2CL
具有最小振摆的高精度XY纳米定位系统,100微米×100微米,电容式传感器,并联计量,LEMO连接器
商品属性 [主动轴] X,Y [行程] Open-loop:110µm×110µm;Closed-loop:100µm×100µm [集成传感器] Capacitive [刚性] 3N/µm [负载] 20N [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.2nm ;Closed-loop:0.3nm [压电陶瓷] PICMA® P-885