Q-521.130
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为12毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521 Q-Motion®小型线性平台
带位置控制、分辨率高、价格实惠的最小线性平台
- 宽仅21毫米、高仅10毫米
- 采用集成式增量编码器实现直接位置测量
- 编码器分辨率高达1纳米
- 最小位移高达2纳米
- 带接装板或支架(作为选配件提供)的多轴系统装置
- 适用于高达10-6百帕的真空环境,还可提供用于真空达10-9百帕的版本
压电惯性驱动器
压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀,移动转子。由于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时,驱动直接作用在动轮上,实现最大为10毫米/秒的速度。
真空和无磁性环境
所有Q-Motion®线性平台都适用于高真空中的操作,真空可达10-6 百帕。此外,适用于10-9 百帕的超高真空变型也可供货。可按需提供无磁性版本。
直接测量原理
可提供带非接触式光学线性编码器的版本。分辨率为4 纳米或1 纳米,取决于不同版本。带编码器的版本具有参考点开关。
应用领域
微装配, 光子, 光学对准, 显微镜, 高能束线设备, 半导体技术, 测试
规格
运动和定位
Q-521.130
Q-521.140 / Q-521.14U
Q-521.230
Q-521.240 / Q-521.24U
Q-521.330
Q-521.340 / Q-521.34U
Q-521.x00 / Q-521.x0U
单位
行程为12毫米,分辨率为4纳米
行程为12毫米,分辨率为1纳米,
超高真空版本Q-521.14U
行程为22毫米,分辨率为4纳米
行程为22毫米,分辨率为1纳米,
超高真空版本Q-521.24U
行程为32毫米,分辨率为4纳米
行程为32毫米,分辨率为1纳米,
超高真空版本Q-521.34U
行程为12毫米至32毫米,开环,超高真空版本Q-521.x0U
主动轴
X
X
X
X
X
X
X
行程
12
12
22
22
32
32
12 到 32
毫米
集成传感器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
-
传感器分辨率
4
1
4
1
4
1
-
纳米
最小位移
8
2
8
2
8
2
-
纳米
全行程范围内的单向重复性
25
25
25
25
30
30
-
纳米
全行程范围内的双向重复性
40
40
40
40
50
50
-
纳米
100微米行程范围内的单向重复性
12
12
12
12
12
12
-
100微米行程范围内的双向重复性
24
24
24
24
24
24
-
纳米
全行程范围内的俯仰/偏转角
100
100
100
100
100
100
100
微弧度
100微米行程范围内的俯仰/偏转角
1
1
1
1
1
1
1
微弧度
最大速度*
10
10
10
10
10
10
10
毫米/秒
机械特性
Q-521.130
Q-521.140 / Q-521.14U
Q-521.230
Q-521.240 / Q-521.24U
Q-521.330
Q-521.340 / Q-521.34U
Q-521.x00 / Q-521.x0U
单位
负载容量
10
10
10
10
10
10
10
牛
长度
30
30
32.2
32.2
42.2
42.2
30 到 42.2
毫米
宽度
21
21
21
21
21
21
21
毫米
高度
10
10
10
10
10
10
10
毫米
驱动特性
Q-521.130
Q-521.140 / Q-521.14U
Q-521.230
Q-521.240 / Q-521.24U
Q-521.330
Q-521.340 / Q-521.34U
Q-521.x00 / Q-521.x0U
单位
电机类型
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
推/拉力
1
1
1
1
1
1
1
牛
保持力,断电
1.3
1.3
1.3
1.3
1.3
1.3
1.3
牛
其他
Q-521.130
Q-521.140 / Q-521.14U
Q-521.230
Q-521.240 / Q-521.24U
Q-521.330
Q-521.340 / Q-521.34U
Q-521.x00 / Q-521.x0U
单位
工作温度范围
0 到 40
0 到 40
0 到 40
0 到 40
0 到 40
0 到 40
0 到 40
°C
材料
不锈钢
不锈钢
不锈钢
不锈钢
不锈钢
不锈钢
不锈钢
电缆长度
1
1
1
1
1
1
1
米
连接器
Sub-D
Sub-D
Sub-D
Sub-D
Sub-D
Sub-D
Sub-D
质量(包含电缆和连接器)
110
Q-521.140: 110
Q-521.14U: 66
126
Q-521.240: 126
Q-521.24U: 78
135
Q-521.340: 135
Q-521.34U: 92
Q-521.100: 110
Q-521.200: 126
Q-521.300: 135
Q-521.10U: 66
Q-521.20U: 78
Q-521.30U: 92
克
不带电缆和连接器的质量
24
Q-521.140: 24
Q-521.14U: 24
126
Q-521.240: 24
Q-521.24U: 34
48
Q-521.340: 48
Q-521.34U: 48
Q-521.100: 24
Q-521.200: 34
Q-521.300: 48
Q-521.10U: 24
Q-521.20U: 34
Q-521.30U: 48
克
推荐电控
E-873.1AT, E-873.3QTU, E-873.10C885
E-873.1AT, E-873.3QTU, E-873.10C885
E-873.1AT, E-873.3QTU, E-873.10C885
E-873.1AT, E-873.3QTU, E-873.10C885
E-873.1AT, E-873.3QTU, E-873.10C885
E-873.1AT, E-873.3QTU, E-873.10C885
E-872.401
*控制频率为20千赫兹时的典型速度
对于真空中的操作,与标准环境相比,我们建议将占空比减小为20%,最大电机推/拉力为30%。滑板的固有质量也必须予以相应考虑。
Q-521.100
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为12毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.130
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为12毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.140
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为12毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.14U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为12毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-521.200
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为22毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.230
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为22毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.240
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为22毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.24U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为22毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-521.300
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为32毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.330
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为32毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.340
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为32毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.34U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为32毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为21 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
商品属性 [主动轴] X [行程] 12/22/32mm [集成传感器] Linear encoder [负载] 10N [电机类型] Piezoelectric inertia drive [工作温度] 0~40℃ [分辨率] 4/1nm [最小位移] 8/2nm