Q-632.900
Q-Motion® 转台,压电惯性驱动,旋转范围>360度,不带用于开环操作的位置传感器,力矩为6毫牛米,直径为30毫米,真空兼容至10-6 百帕
Q-632 Q-Motion®转台
通过压电电机实现其紧凑外形:转台直径为30毫米
- 宽仅32毫米、高仅8毫米
- 采用增量编码器实现直接位置测量,编码器分辨率为0.75微弧度(可选)
- 最小位移高达3微弧度
- 旋转范围>360度
- 速度为45度/秒
- 适用于高达10-6百帕的真空环境,还可提供用于真空达10-9百帕的版本
压电惯性驱动器
压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀,移动转子。由于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时,驱动直接作用在转子上,实现最大为45度/秒的速度
应用领域
微装配、光子学、光学对准、显微镜、高能束线设备、半导体技术、测试应用
规格
运动和定位
Q-632.930
Q-632.900
Q-632.90U
单位
公差
转台带用于闭环操作的位置传感器
转台不带位置传感器
转台,不带位置传感器,用于超高真空达10-9百帕
主动轴
θZ
θZ
θZ
旋转范围
>360
>360
>360
°
集成传感器
增量编码器
–
–
传感器分辨率
0.75
–
–
微弧度
最小位移
3
36 (1)
36 (1)
微弧度
典型值
单向重复精度
6
–
–
微弧度
典型值
最大速度,开环
45
45
45
度/秒
(1)开环
机械特性
Q-632.930
Q-632.900
Q-632.90U
单位
公差
负载容量
1
1
1
牛
保持力矩,断电
7
7
7
毫牛米
最小
力矩
6
6
6
毫牛米
典型值
长度
32
32
32
毫米
宽度
32
32
32
毫米
高度
8
7
7
毫米
转台直径
30
30
30
毫米
驱动特性
Q-632.930
Q-632.900
Q-632.90U
单位
公差
电机类型
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
其他
Q-632.930
Q-632.900
Q-632.90U
单位
公差
工作温度范围
0 到 40
0 到 40
0 到 40
°C
材料
铝、钢
铝、钢
铝、钢
不含电缆的质量
25
21
21
克
电缆长度
1
1
1
米
连接器
Sub-D
Sub-D
Sub-D
推荐电控
E-873.1AT, E-873.3QTU, E-873.10C885
E-872.401
E-872.401
对于真空中的操作,与标准环境相比,我们建议将占空比减小为20%,旋转速度减小为50%。
Q-632.930
Q-Motion® 转台,压电惯性驱动,旋转范围>360度,增量编码器,分辨率为0.75微弧度,力矩为6毫牛米,直径为30毫米,真空兼容至10-6 百帕
Q-632.900
Q-Motion® 转台,压电惯性驱动,旋转范围>360度,不带用于开环操作的位置传感器,力矩为6毫牛米,直径为30毫米,真空兼容至10-6 百帕
Q-632.90U
Q-Motion® 转台,压电惯性驱动,旋转范围>360度,不带用于开环操作的位置传感器,力矩为6毫牛米,直径为30毫米,真空兼容至10-9 百帕
商品属性 [主动轴] θZ [行程] >360° [集成传感器] Incremental encoder/- [电机类型] Piezoelectric inertia drive [分辨率] 0.75µrad/- [最小位移] 3/36 µrad