A-121 PIglide AT1小型线性空气轴承平台 高性能小巧设计纳米级定位平台
• 扫描应用或超精密定位的完美选择 • 兼容无尘室 • 可提供定制版本 • 平台尺寸115毫米×115毫米 • 低外形,高度为60毫米
PIglide AT1系列紧凑型平台是由带满预载的空气轴承和整体式光学线性编码器驱动的线性伺服电机。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供最佳的性能、质量和使用寿命。
这类平台非常适合高精度应用,诸如计量、光子学校准、半导体、平板显示器、激光加工和精密扫描应用。非接触式设计还使得这类平台成为无尘室应用的理想选择。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度。此型号中带预载的榫形空气轴承设计可支持正常方向、垂直方向和侧向安装。
附件和可选配件
• 多种编码器选配件
• 空气预处理器
• 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
• 带精密校准的XY堆叠和自定义配置
• 电缆轨道变型
• 用于垂直方向的平衡配件
• 可提供定制版
• 花岗岩底座和隔振系统
规格
A-121.050 A-121.100 A-121.150 A-121.200 A-121.350 行程
50毫米
100毫米
150毫米
200毫米
350毫米
驱动系统
无刷无铁芯线性伺
服电机,三相
无刷无铁芯线性伺
服电机,三相
无刷无铁芯线性伺
服电机,三相
无刷无铁芯线性伺
服电机,三相
无刷无铁芯线性伺
服电机,三相
反馈系统
带行程限位和原位
标记的非接触式光
学线性编码器
带行程限位和原位
标记的非接触式光
学线性编码器
带行程限位和原位
标记的非接触式光
学线性编码器
带行程限位和原位
标记的非接触式光
学线性编码器
带行程限位和原位
标记的非接触式光
学线性编码器
电机母线电压
标称为48伏直流
电,最大为80伏
直流电
标称为48伏直流
电,最大为80伏
直流电
标称为48伏直流
电,最大为80伏
直流电
标称为48伏直流
电,最大为80伏
直流电
标称为48伏直流
电,最大为80伏
直流电
电机力常数
6.67牛/安
6.67牛/安
6.67牛/安
6.67牛/安
6.67牛/安
连续力
11.1 N
11.1 N
11.1 N
11.1 N
11.1 N
峰值力
33.2 N
33.2 N
33.2 N
33.2 N
33.2 N
电机反电动势
7.7伏/米/秒
7.7伏/米/秒
7.7伏/米/秒
7.7伏/米/秒
7.7伏/米/秒
电机电阻
(相间)
6.3欧姆
6.3欧姆
6.3欧姆
6.3欧姆
6.3欧姆
电机电感
(相间)
1.0毫亨
1.0毫亨
1.0毫亨
1.0毫亨
1.0毫亨
最大速度(1)
1米/秒
1米/秒
1米/秒
1米/秒
1米/秒
最大加速度 (1)(空载)
2克
2克
2克
2克
2克
最大有效载荷 (2)
标称为10公斤,
侧向为4公斤
标称为10公斤,
侧向为4公斤
标称为10公斤,
侧向为4公斤
标称为10公斤,
侧向为4公斤
标称为10公斤,
侧向为4公斤
精度 (3)
(未补偿)
±1.0微米
±1.0微米
±1.5微米
±2.0微米
±3.0微米
精度(3)(带误差补偿)
±0.50微米
±0.50微米
±0.50微米
±0.50微米
±1.0微米
重复精度 (4) (4)
±0.25微米
±0.25微米
±0.25微米
±0.25微米
±0.50微米
编码器分辨率 (4)
高达1纳米
(见订购示例)
高达1纳米
(见订购示例)
高达1纳米
(见订购示例)
高达1纳米
(见订购示例)
高达1纳米
(见订购示例)
直线度&平面度(5)
<0.1微米 / 25毫米
<1微米 TIR
<0.1微米 / 25毫米
<1微米 TIR
<0.1微米 / 25毫米
<1微米 TIR
<0.1微米 / 25毫米
<1.5微米 TIR
<0.1微米 / 25毫米
<2.5微米 TIR
螺距&偏转角 TIR(5)
1角秒
2角秒
4角秒
4角秒
7角秒
平台质量
3.5千克
4.2千克
4.5千克
5.2千克
6.8千克
移动质量
1.2千克
1.2千克
1.2千克
1.2千克
1.2千克
布线
外部,移动回路
外部,移动回路
外部,移动回路
外部,移动回路
外部,移动回路
工作压力(6)
70±5磅/平方英寸(485±35千帕)
70±5磅/平方英寸(485±35千帕)
70±5磅/平方英寸(485±35千帕)
70±5磅/平方英寸(485±35千帕)
70±5磅/平方英寸(485±35千帕)
耗气量
< 1.0 标准立方英尺
每分(28 标准升每分)
< 1.0 标准立方英尺
每分(28 标准升每分)
< 1.0 标准立方英尺
每分(28 标准升每分)
< 1.0 标准立方英尺
每分(28 标准升每分)
< 1.0 标准立方英尺
每分(28 标准升每分)
空气质量
干净(过滤至1.0微米或更佳) – ISO 8573-1 一级;无油 – ISO 8573-1 一级;干燥(露点为-15摄氏度) – SO 8573-1 三级
结构
硬膜铝 / 不锈钢紧固件
(1)基于空载平台能力的最大速度和加速度,可能受到有效载荷、控制器或驱动器性能限制。
(2)假定有效载荷重心位于平台上方50毫米范围以内的中央。
(3)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。所列规格适用于A和C编码器选项。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。
(4)编码器分辨率取决于所选编码器选项,以及选择正弦编码器时使用的插值法。分辨率将影响重复性参数。
(5)取决于平台安装表面的平面度。
(6)为防止平台损坏,建议将负压空气传感器连接到控制器急停输入端。
订购信息 A-121.050A1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为50毫米,带增量编码器的直接位置测量(20微米光栅间距,正弦(1伏峰峰)输出),48伏直流电母线电机
A-121.050B1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为50毫米,绝对编码器(1纳米分辨率,BiSS-C串行输出),48伏直流电母线电机
A-121.100A1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为100毫米,带增量编码器的直接位置测量(20微米光栅间距,正弦(1伏峰峰)输出),48伏直流电母线电机
A-121.100B1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为100毫米,绝对编码器(1纳米分辨率,BiSS-C串行输出),48伏直流电母线电机
A-121.150A1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为150毫米,带增量编码器的直接位置测量(20微米光栅间距,正弦(1伏峰峰)输出),48伏直流电母线电机
A-121.150B1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为150毫米,绝对编码器(1纳米分辨率,BiSS-C串行输出),48伏直流电母线电机
A-121.200A1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为200毫米,带增量编码器的直接位置测量(20微米光栅间距,正弦(1伏峰峰)输出),48伏直流电母线电机
A-121.200B1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为200毫米,绝对编码器(1纳米分辨率,BiSS-C串行输出),48伏直流电母线电机
A-121.350A1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为350毫米,带增量编码器的直接位置测量(20微米光栅间距,正弦(1伏峰峰)输出),48伏直流电母线电机
A-121.350B1
PIglide AT1线性机动化空气轴承平台,行程为350毫米,绝对编码器(1纳米分辨率,BiSS-C串行输出),48伏直流电母线电机
可按需提供其他TTL编码器分辨率。
商品属性 [行程] 50/100/150/200/350毫米 [电机类型] 无刷无铁芯线性伺服电机,三相