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椭偏仪专用光谱仪-OtO技术方案
神科仪购网/SNKOO-eGo / 2017-09-05

解決方案1. 双光谱仪系統:宽广全光谱(紫外至近紅外光)解決方案

客戶可选择兩台光谱仪,量测波段分別为180-1100 nm和950-1700 nm,再搭配OtO客制化之双光谱仪系統,即可轻松拥有180-1700 nm的波段范围和高光学分辨率,突破单一光谱仪量測的限制,适合需紫外至近红外波段范围的量测应用,如:椭偏仪。

 

解決方案2. 消杂散光演算法

OtO开发的「消杂散光演算法」,适用于低穿透率、低反射率、高吸收度、量測光源偏弱、曝光時间极短的量测情境,经演算法校正后杂散光可降至0.01%。

消杂散光演算法对穿透率量测的贡献。


穿透率标准值
杂散光扣除前測量值
杂散光扣除前測量值
杂散光0.12%
杂散光0.05%
杂散光0.01%
90.00%
90.01%
90.00%
90.00%
10.00%
10.11%
10.04%
10.01%
1.00%
1.12%
1.05%
1.01%
0.10%
0.22%
0.15%
0.11%


推荐机种

应用
可搭配的光谱仪1
180~1100nm
可搭配的光谱仪2
900~1700nm
180~1700nm全波段量測
SE2020
SE2060
SE2090
SW2520
SW2530
SW2540
提高分辨率
任一台光谱仪
任一台光谱仪

来源:台湾超微光学

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