A-131 带空气轴承的PIglideVC音圈线性平台
高性能小型纳米级定位系统
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 行程达25 毫米
- 负载容量达30牛
- 加速度达80米/平方秒
产品概述
带空气轴承和音圈驱动器的PIglide平台外形紧凑,可提供高速度和高加速度。
运动平台的部件无接触,可确保最高的性能、质量和使用寿命。
附件和可选配件
PIglide过滤器和空气预处理器
单轴和多轴运动控制器
音圈驱动器技术
音圈驱动器由两个基本零件组成:永磁体和线圈,线圈位于磁场的气隙中。当电流流过线圈时,线圈在永磁体的磁场中移动。运动方向取决于极性。音圈驱动器具有低重量并且基于无摩擦驱动原理,因此特别适合在有限行程内要求高动态性和高速度的应用。这类驱动器还可提供高扫描频率和精密定位,因为它们不存在磁滞效应。
应用领域
高速扫描、制造业中的应用。
由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使平台成为无尘室应用的优先选择。
运动
A-131.025A1
单位
公差
主动轴
X
行程
25
毫米
螺距(1)
10
微弧度
最大
偏转角(1)
10
微弧度
最大
直线度/平面度(1)
0.5
微米
最大
速度,空载(2)
1
米/秒
最大
加速度,空载(2)
80
米/平方秒
最大
机械特性
A-131.025A1
单位
公差
Z向负载能力(3)
30
牛
最大
移动质量
0.85
千克
总质量
3.6
千克
导向类型
空气轴承
驱动特性
A-131.025A1
单位
公差
驱动类型
无刷音圈驱动器,无铁芯,单相
中间电路电压,均方根
48,标称值
80,最大值
伏直流
标称电流,均方根
3
安
最大
峰值电流,均方根
10
安
最大
峰值力
70.4
牛
典型值
标称力
22.3
牛
典型值
力常数,均方根
6.9
牛/安
典型值
电阻
2.7
欧姆
典型值
电感(1000赫兹时)
1.4
毫亨
典型值
互感
6.9
伏·秒/米
标称功率
28
瓦
最大
布线
内部,无移动电缆
定位
A-131.025A1
集成传感器
增量线性编码器
传感器信号
正弦/余弦,1伏峰峰值,20微米信号周期
传感器分辨率
1.2纳米(4)
双向重复性
±0.1微米(4)
定位精度,未校准
±2.0微米
定位精度,已校准(5)
±0.25微米
参考点开关
主页
其他
A-131.025A1
工作压力(6)
75至85磅 /平方英寸(520至585千帕)
耗气量
< 1.0 SCFM (28 SLPM)
空气质量
清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573–1 级别1
无油 - ISO 8573–1 级别1
干燥(-15°C露点) - ISO 8573–1 级别3
材料
硬膜铝,不锈钢固定硬件
(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定重心居中,位于离运动平台不超过50毫米的位置。
(4)假定16384x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。
(5)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台必须与PI控制器一同订购。
(6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
A-131.025A1
PIglide VC 线性平台, 空气轴承, 25 mm 行程, 音圈, 48 V,带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期
商品属性 [主动轴] X [行程] 25mm [负载] 30N(Z向)