P-750.20
高负载纳米定位系统、行程范围75微米、电容式传感器、直接计量
P-750 压电陶瓷纳米定位系统
具有直接计量的高负载压电驱动纳米级定位系统
- 1nm的侧向导向精度
- 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
- 负载能力达10千克
- 分辨率<1纳米
- 带电容传感器的直接计量可实现最高精度
- 直接驱动可实现快速响应
- 行程75微米
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
闭环/开环行程
闭环/开环分辨率
负载容量
倾斜ΘX, ΘY
谐振频率(空载)
P-750.00
– / 75微米
– / 0.4微米
100 牛
±10微弧度
600 赫兹
带电容式传感器的P-750.20
75 微米 / 75 微米
1 纳米 / 0.4 纳米
100 牛
±10微弧度
600 赫兹
*每1赫兹和1微米的动态操作电流效率,单位为微安。例:10赫兹下30微米的正弦扫描需要约3.8毫安的驱动电流。
**PI压电陶瓷纳米级定位系统的分辨率不受摩擦力或静摩擦力的限制。所给出的值为带E-503放大器的噪声等效运动。
P-750.00
高负载纳米定位系统,行程范围75微米
P-750.20
高负载纳米定位系统、行程范围75微米、电容式传感器、直接计量
商品属性 [主动轴] X [行程] 75μm [工作温度] -20 to 80℃ [分辨率] 0.4um [负载] 100 N