P-630 高动态纳米级定位系统
具有大通光孔径的单轴
• 达3.25千赫兹的谐振频率 • 行程范围达80 毫米 • 落地面积和剖面高度小 • 通光孔径为30毫米
参考类别纳米定位系统
单轴 无摩擦柔性铰链导向设计,直接驱动。具有最高稳定性和线性度的电容式位置传感器
PICMA高性能压电陶瓷驱动器
带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器 使用寿命更长、防潮性能佳、工作温度达 80 °C
应用领域
光学元件或物体在光程中的精密定位,用于科研和工业中的微加工、显微结构和扫描任务。可作为真空设备
规格
P-630.XCD
P-631.XCD
单位
主动轴
X
X
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
开环行程,-20至120伏
45
90
微米
闭环行程
40
80
微米
开环分辨率
0.1
0.1
纳米
闭环分辨率
0.2
0.2
纳米
闭环非线性
0.02
0.02
%
全行程范围内的重复性
±2
±3
纳米
螺距/偏转角
±5
±5
微弧度
直线度/平面度
50
50
纳米
机械特性
运动方向上的刚性
5.5
5
牛/微米
空载谐振频率
3250
2850
赫兹
谐振频率@ 60克
1600
1200
赫兹
运动方向上的推/拉力
10
10
牛
负载容量
10
10
牛
驱动特性
压电陶瓷
PICMA P-887
PICMA P-885;P-887
电容
6.4
12.6
微法
动态操作电流效率
20
20
微安/赫兹 × 微米
其他
工作温度范围
0 到 40
0 到 40
°C
材料
铝
铝
尺寸
102 毫米 × 50 毫米 × 18 毫米
102 毫米 × 50 毫米 × 18 毫米
质量
300
320
克
电缆长度
1.5
1.5
米
传感器/电压连接
Sub-D特殊连接器(单轴,电容式)
Sub-D特殊连接器(单轴,电容式)
推荐控制器/放大器
E-709.CR经济实用型数字式控制器
E-709.可实现高动态及快速步进和稳定的CHG数字式控制器
E-753.1CD可实现高分辨率和线性度的数字式控制器
E-709.CR经济实用型数字式控制器
E-709.可实现高动态及快速步进和稳定的CHG数字式控制器
E-753.1CD可实现高分辨率和线性度的数字式控制器
订购信息
P-630.XCD 具有大孔径、40微米行程、直接计量和电容传感器的线性压电陶瓷纳米级定位系统
P-631.XCD 具有大孔径、80微米行程、直接计量和电容传感器的线性压电陶瓷纳米级定位系统
商品属性 [主动轴] X [行程] 开环45;闭环40微米 [集成传感器] 电容式 [刚性] 5.5牛/微米 [负载] 10N [工作温度] 0~40℃ [分辨率] 开环0.1;闭环0.2纳米 [压电陶瓷] PICMA P-887