PD72Z1x PIFOC物镜扫描系统100微米
用于亚纳米级分辨率的高动态压电驱动器
• 带数字式控制器、软件和螺纹插口的整套系统 • 行程100微米 • 用亚纳米级的分辨率扫描和定位物镜
• 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统 • 带电容式传感器的直接计量
带控制器和软件的PIFOC物镜扫描系统
通光孔径达Ø29毫米。QuickLock适配器可实现便捷连接
位置测量
带低成本应变片传感器(SGS)或高精度电容式传感器,用于实现最高线性度和稳定性。所有控制参数可通过软件设置和优化。
接口
USB、RS-232和模拟量
用户软件和功能
PIMikroMove,PI总指令集(GCS)。用于LabVIEW的驱动器,用于Windows和Linux的共享库。与µManager、MetaMorph和MATLAB兼容。
应用领域
显微镜、共聚焦显微镜、3-D成像、筛选、自动聚焦系统、表面分析、晶片光刻检验、多光子显微镜
规格
PD72Z1SAA /
PD72Z1SAQPD72Z1CAA /
PD72Z1CAQ单位
公差
主动轴
Z
Z
运动和定位
集成传感器
应变片传感器
电容式
闭环行程
100
100
微米
闭环分辨率
5
1
纳米
典型值
线性误差,闭环
0.2
0.06
%
典型值
重复精度
±10
±5
纳米
典型值
径向振摆θX, ΘY
13
13
微弧度
典型值
X、Y向上的串扰
100
100
纳米
典型值
稳定时间(0.5微米步长、5%精度、150克)
10
10
毫秒
典型值
机械特性
运动方向上的刚性
0.3
0.3
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
580
580
赫兹
±20 %
谐振频率@ 120克
235
235
赫兹
±20 %
谐振频率@ 200克
180
180
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
100 / 20
100 / 20
牛
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMA P-885
PICMA P-885
其他
工作温度范围
10 到 50
10 到 50
°C
材料
铝
铝
质量
0.22
0.24
千克
±5 %
电缆长度
1
1
米
压电式控制器
E-709数字伺服(随机配件)
通信接口
USB, RS-232, SPI
输入/输出连接器
HD Sub-D26针
1个模拟量输入0至10V
1个传感器监控器0至10V
1个数字输入(LVTTL、可编程)
1个模拟输出
5个数字输出(LVTTL、3个为预定
义、2个为可编程)
指令集
PI总指令集(GCS)
用户软件
PIMikroMove
软件驱动器
LabVIEW驱动器,用于Windows
和Linux的共享库。
支持功能
波形发生器、数据记录器、自动
调零、触发I/O、MATLAB、
MetaMorph、µManager
控制器尺寸
160 毫米 × 96 毫米 × 33 毫米
订购信息
PD72Z1CAA
快速PIFOC压电陶瓷纳米级聚焦Z向驱动器、100微米行程、电容式传感器、M32大孔径QuickLock螺纹连接器、带USB和RS-232的数字式控制器
PD72Z1CAQ
快速PIFOC压电陶瓷纳米级聚焦Z向驱动器、100微米行程、电容式传感器、M25QuickLock螺纹连接器、带USB和RS-232的数字式控制器
PD72Z1SAA
快速PIFOC压电陶瓷纳米级聚焦Z向驱动器、100微米行程、应变片传感器、M32大孔径QuickLock螺纹连接器、带USB和RS-232的数字式控制器
PD72Z1SAQ
快速PIFOC压电陶瓷纳米级聚焦Z向驱动器、100微米行程、应变片传感器、M25QuickLock螺纹连接器、带USB和RS-232的数字式控制器
商品属性 [主动轴] Z [行程] 闭环:100微米 [集成传感器] 应变片传感器/电容式 [刚性] 0.3牛/微米 [工作温度] 10~50℃ [分辨率] 闭环:5纳米/1纳米 [压电陶瓷] PICMA P-885