P-612.ZSL
垂直纳米定位平台,100微米,孔径为20毫米×20毫米,应变片传感器
P-612.Z 压电Z向位移台
带孔径的紧凑型纳米定位器
-行程100微米
-分辨率达0.2纳米
-线性误差 0.2 %
-结构紧凑:表面60毫米×60毫米
-极其经济实惠的系统(机械部件和控制器)
-零间隙,高精度柔性铰链导向系统
-PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
应用领域
-干涉测量 -显微镜 -纳米定位 -生物技术 -测试程序和质量保证 -半导体技术
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
P-612.ZSL
P-612.Z0L
单位
公差
主动轴
Z
Z
运动和定位
集成传感器
应变片传感器
-
-20至+120伏时的开环行程
110
110
微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
100
-
微米
分辨率,开环
0.2
0.2
纳米
典型值
分辨率,闭环
1.5
-
纳米
典型值
线性误差,闭环
0.2
-
%
典型值
重复精度
±4
-
纳米
典型值
倾斜θX、θY
±10
±10
微弧度
典型值
X、Y向上的串扰
±20
±20
微米
典型值
机械特性
运动方向上的刚性
0.63
0.63
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
490
490
赫兹
±20 %
带负载时的谐振频率
420 (30 克)
420 (30 克)
赫兹
±20 %
负载容量
15 / 10
15 / 10
牛
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
3
3
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
质量
0.28
0.275
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
LEMO
LEMO(无传感器)
推荐电控
E-610、E-621、E-625、E-665
E-610、E-621、E-625、E-665
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-612.Z0L
垂直纳米定位平台,110微米,孔径为20毫米×20毫米,开环
P-612.ZSL
垂直纳米定位平台,100微米,孔径为20毫米×20毫米,应变片传感器
商品属性 [主动轴] Z [行程] Open-loop:110μm;Closed-loop:100μm [集成传感器] SGS [刚性] 0.63N/μm [负载] 15/10N [工作温度] -20 to 80℃ [分辨率] Open-loop:0.2nm;Closed-loop:1.5nm [压电陶瓷] PICMA®P-885