S-303.CD
压电移相器,3微米,电容式传感器
S-303 压电移相器
带直接计量选项的高速压电移相器
-谐振频率为25千赫兹,可实现亚毫秒级的动态
-电容式传感器选项可实现最高的线性度和稳定性
-行程为3微米
-紧凑尺寸:直径为30毫米×10毫米
-带孔径的开环版本
-殷钢选项可实现最高的热稳定性
S-303.CDx
S-303.0Lx
单位
公差
主动轴
Z
Z
开环行程,-20至120V
3
3
微米
±20 %
闭环行程
2
–
微米
集成式反馈传感器
电容式
–
分辨率,闭环/开环*
0.03 / 0.03
0.03 / –
纳米
线性误差,闭环**
1.0
%
典型值
重复精度
0.7
纳米
典型值
刚度
牛/微米
±20 %
推/拉力
0.5
0.5
牛
最大
电容
0.9
0.9
微法
±20 %
动态操作电流效率(DOCC)***
50
50
微安/(赫兹 × 微米)
谐振频率,空载
25
25
千赫兹
±20 %
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
°C
电压连接
E
VL
传感器连接
E
–
质量
100
30
克
±5 %
外壳材料
铝(可选殷钢)
铝(可选殷钢)
推荐放大器/控制器
E-665.CR
E-610.C0
E-661.CP
E-625.CR
E-753E-750E-663
E-610.00
E-500 / E-501
E-503 可选:E-515 / E-516*PI压电陶瓷纳米级定位器的分辨率不受静摩擦力或摩擦力的限制。所给出的值为带E-503放大器或E-710控制器的噪声等效运动。
**带数字式控制器,模拟量控制器可实现1纳米的典型线性度。1纳米
*每1赫兹和1微米的动态操作电流效率,单位为微安。例:10赫兹下1微米的正弦扫描需要约0.5毫安的驱动电流。
S-303.0L
压电移相器,3微米,开环
S-303.CD
压电移相器,3微米,电容式传感器
S-303.0Li
压电移相器,3微米,开环,殷钢
S-303.CDi
压电移相器,3微米,电容式传感器,殷钢
商品属性 [主动轴] Z [行程] Open-loop:3μm;Closed-loop:2μm [集成传感器] capacitive [工作温度] -20 to 80℃ [分辨率] 0.03nm