P-733.ZCL
紧凑型精密纳米定位器Z向位移台,100 微米,电容传感器,LEMO连接器
P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪
直接位置测量和通光孔径
-行程100微米
-带电容式传感器的直接计量
-分辨率达0.3纳米,闭环
-通孔尺寸50毫米×50毫米
-可提供带附加自由度的其他版本
-可提供XY和XYZ版本
-可提供真空兼容版本
应用领域
-扫描显微镜 -共聚焦显微镜 -掩模/晶圆定位 -表面测量技术 -纳米压印 -显微操纵 -图像处理/稳定 -高运动平面度和直线度的纳米定位
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
P-733.ZCD/P-733.ZCL
单位
公差
主动轴
Z
运动和定位
集成传感器
电容式
-20至120 伏时的开环行程
115
微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
100
微米
分辨率,开环
0.2
纳米
典型值
分辨率,闭环
0.3
纳米
典型值
线性误差
0.03
%
典型值
重复精度
<2
纳米
典型值
绕Z旋转
<10
微弧度
典型值
绕X旋转
<5
微弧度
典型值
绕Y旋转
<5
微弧度
典型值
机械特性
刚度
2.5
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
700
赫兹
±20 %
带120 克负载时的谐振频率
530
赫兹
±20 %
带200 克负载时的谐振频率
415
赫兹
±20 %
推/拉力大小
50 / 20
牛
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMAP-885
电容
6
微法
±20 %
其他
工作温度范围
20 到 80
°C
材料
铝
尺寸
100 毫米 × 100 毫米 × 25 毫米
质量
580
克
±5 %
电缆长度
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
推荐电控
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-754
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-733.ZCD
紧凑型精密纳米定位器Z向位移台,100 微米,电容传感器,Sub-D连接器
P-733.ZCL
紧凑型精密纳米定位器Z向位移台,100 微米,电容传感器,LEMO连接器
商品属性 [主动轴] Z [行程] Open-loop:115 µm;Closed-loop:100 µm [集成传感器] Capacitive [刚性] 2.5 N/µm [工作温度] 20 to 80 °C [分辨率] Open-loop:0.2 nm;Closed-loop:0.3 nm [压电陶瓷] PICMA® P-885