P-558.ZCL
精密纳米定位Z向位移台,50微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-518 • P-528 • P-558 压电陶瓷Z向/偏摆平台
高动态,带大通光孔径
-三轴Z向和偏摆平台 / 单轴Z向位移台
-垂直偏摆角达200微米/2毫弧度,闭环(开环达240 微米/2.4 毫弧度)
-并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
-零间隙,高精度柔性铰链导向系统
-PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
-通光孔径为66 毫米 × 66 毫米
-电容式传感器带来最高线性度
应用领域
-计量 -干涉测量 -光子学/集成光学 -平版印刷术 -纳米定位 -扫描显微镜 -样本对准 -微加工
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
规格
P-558.ZCDP-558.ZCL
P-558.TCD
P-518.ZCDP-518.ZCL
P-518.TCD
P-528.ZCDP-528.ZCL
P-528.TCD
单位
公差
主动轴
Z
Z, θX, θY
Z
Z, θX, θY
Z
Z, θX, θY
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
电容式
电容式
电容式
电容式
-20至120 伏时Z向上的开环行程
60
60
140
140
240
240
微米
+20 % / -0 %
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角
–
±0.3
–
±0.7
–
±1.2
毫弧度
+20 % / -0 %
Z向上的闭环行程
50
50
100
100
200
200
微米
θX、θY向上的闭环偏摆角
–
±0.25
–
±0.5
–
±1
毫弧度
Z向上的开环分辨率
0.2
0.2
0.2
0.4
0.6
0.6
纳米
典型值
θX、θY向上的开环分辨率
–
0.02
–
0.04
–
0.06
微弧度
典型值
Z向上的闭环分辨率
0.5
0.5
0.8
0.8
1
1
纳米
典型值
θX、θY向上的闭环分辨率
–
0.05
–
0.05
–
0.1
微弧度
典型值
θX、θY向上的线性误差
–
0.03
–
0.03
–
0.03
%
典型值
Z向上的重复精度
±5
±5
±5
±5
±10
±10
纳米
典型值
θX、θY向上的重复精度
–
±0.03
–
±0.05
–
±0.1
微弧度
典型值
θZ向上的串扰(Z向运动)
<10
<10
<10
<10
<20
<20
微弧度
典型值
θX、θY向上的串扰(Z向运动)
<50
<50
<50
<50
<100
<100
微弧度
典型值
机械特性
Z向上的刚性
4
4
2.7
2.7
1.5
1.5
牛/微米
±20 %
Z向上的空载谐振频率
570
570
500
500
350
350
赫兹
±20 %
θX、θY向上的空载谐振频率
–
610
–
530
–
390
赫兹
±20 %
带500克负载时Z向上的谐振频率
410
410
350
350
210
210
赫兹
±20 %
带500克负载时θX、θY向上的谐振频率
–
430
–
370
–
250
赫兹
±20 %
带2500克负载时Z向上的谐振频率
245
245
200
200
130
130
赫兹
±20 %
带2500克负载时θX、θY向上的谐振频率
–
240
–
190
–
115
赫兹
±20 %
负载能力*
5
5
5
5
5
5
千克
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
6
6
8.4
8.4
14.8
14.8
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
铝
铝
铝
铝
尺寸
150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米
150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米
150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米
150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米
150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米
150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米
质量
1380
1380
1400
1400
1420
1420
克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公)
Sub-D25W3(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公)
Sub-D25W3(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公)
Sub-D25W3(公头)
推荐电控
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754
* 水平安装时(立于表面上,非悬挂式).
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-558.ZCD
精密纳米定位Z向位移台,50微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-558.ZCL
精密纳米定位Z向位移台,50微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-518.ZCD
精密纳米定位Z向位移台,100微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-518.ZCL
精密纳米定位Z向位移台,100微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-528.ZCD
精密纳米定位Z向位移台,200微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-528.ZCL
精密纳米定位Z向位移台,200微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-558.TCD
精密纳米定位器Z向位移台和偏摆台,50微米,0.6毫弧度,平行计量,电容传感器,Sub-D连接器
P-518.TCD
精密纳米定位器Z向位移台和偏摆台,100微米,1.4毫弧度,平行计量,电容传感器,Sub-D连接器
P-528.TCD
精密纳米定位器Z向位移台和偏摆台,200微米,2.4毫弧度,平行计量,电容传感器,Sub-D连接器
商品属性 [集成传感器] Capacitive [刚性] 2.7N/μm [主动轴] Z/Z,θx,θy [行程] Open-loop:140μm;Closed-loop:100μm [工作温度] -20 to 80℃ [分辨率] Open-loop:0.2/0.4nm;Closed-loop:0.8nm [压电陶瓷] PICMA®P-885