P-611.20
XY向纳米定位系统,120微米 × 120微米,不带传感器
P-611.XZ • P-611.2 XZ和XYZ向纳米定位器
用于纳米定位的紧凑型双轴压电陶瓷系统
- 结构紧凑:表面44 毫米×44 毫米
- 行程达120 微米×120微米
- 分辨率达0.2纳米
- 极其经济实惠的系统(机械部件和控制器)
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 也可提供线性和Z向位移台以及XYZ版本
应用领域
-干涉测量 -显微镜 -纳米定位 -生物技术 -测试程序和质量保证 -光子 -光纤定位 -半导体技术
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
P-611.2S
P-611.20
P-611.XZS
P-611.XZ0
单位
公差
主动轴
X, Y
X, Y
X, Z
X, Z
运动和定位
集成传感器
应变片传感器
–
应变片传感器
–
-20至120 伏时的开环行程
120
120
120
120
微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
100
–
100
–
微米
分辨率,开环
0.2
0.2
0.2
0.2
纳米
典型值
分辨率,闭环
2
–
2
–
纳米
典型值
线性误差
0.1
–
0.1
–
%
典型值
重复精度
<10
–
<10
–
纳米
典型值
X、Y向上的螺距
±5
±5
±5
±5
微弧度
典型值
θX向上的倾斜(Z向运动)
–
–
±10
±10
微弧度
典型值
X向上的偏转角
±20
±20
±20
±20
微弧度
典型值
Y向上的偏转角
±10
±10
–
–
微弧度
典型值
θY向上的倾斜(Z向运动)
–
–
±10
±10
微弧度
典型值
机械特性
刚度
0.2
0.2
0.2
Z:0.35
0.2
Z:0.35
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
X:345;
Y:270
X:345;
Y:270
X:365;
Z:340
X:365;
Z:340
赫兹
±20 %
带30 克负载时的谐振频率
X:270;
Y:225
X:270;
Y:225
X:280;
Z:295
X:280;
Z:295
赫兹
±20 %
带100 克负载时的谐振频率
X:180;
Y:165
X:180;
Y:165
X:185;
Z:230
X:185;
Z:230
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
15 / 10
15 / 10
15 / 10
15 / 10
牛
最大
负载容量
15
15
15
15
牛
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
1.5
1.5
1.5
1.5
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝、钢
铝、钢
铝、钢
铝、钢
尺寸
44 毫米 × 44 毫米 × 25 毫米
44 毫米 × 44 毫米 × 25 毫米
44 毫米 × 44 毫米 × 34 毫米
44 毫米 × 44 毫米 × 34 毫米
质量
0.235
0.235
0.27
0.27
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器连接
LEMO
–
LEMO
–
电压连接
LEMO
LEMO
LEMO
LEMO
推荐电控
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-611.2S
XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,应变片传感器
P-611.20
XY向纳米定位系统,120微米 × 120微米,不带传感器
P-611.XZS
XZ向纳米定位系统,100微米 × 100微米,应变片传感器
P-611.XZ0
XZ向纳米定位系统,120微米 × 120微米,不带传感器
商品属性 [主动轴] X, Y [行程] Open-loop:120µm;Closed-loop:100µm [集成传感器] SGS [刚性] 0.2N/µm [负载] 15N [分辨率] Open-loop:0.2nm;Closed-loop:2nm [压电陶瓷] PICMA® P-885