P-611.3O
NanoCube XYZ向纳米定位系统,120微米 × 120微米 × 120微米,不带传感器
P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统
用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统
- 行程达120 微米×120 微米×120 微米 - 超紧凑型:44 毫米 × 44 毫米 × 44 毫米 - 分辨率达0.2纳米 - 快速响应行为
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统 - PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 - 用于快速扫描 - 带集成式光纤夹持器的版本
描述
- 应用领域 - 光子学/集成光学 - 显微操纵 - 生物技术 - 半导体测试 - 光纤定位
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
P-611.3S
P-611.3SF
P-611.3O
P-611.3OF
单位
公差
主动轴
X、Y、Z
X、Y、Z
运动和定位
集成传感器
应变片传感器
-20至120 伏时的开环行程
120/轴
120/轴
微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
100/轴
–
微米
分辨率,开环
0.2
0.2
纳米
典型值
分辨率,闭环
1
–
纳米
典型值
线性误差
0.1
–
%
典型值
重复精度
<10
–
纳米
典型值
X、Y向上的螺距
±5
±5
微弧度
典型值
θX向上的倾斜(Z向运动)
±10
±10
微弧度
典型值
X向上的偏转角
±20
±20
微弧度
典型值
Y向上的偏转角
±10
±10
微弧度
典型值
θY向上的倾斜(Z向运动)
±10
±10
微弧度
典型值
机械特性
刚度
0.3
0.3
牛/微米
±20 %
X / Y / Z向上的空载谐振频率
350 / 220 / 250
350 / 220 / 250
赫兹
±20 %
带30克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
270 / 185 / 230
270 / 185 / 230
赫兹
±20 %
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
180 / 135 / 200
180 / 135 / 200
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
15 / 10
15 / 10
牛
最大
负载容量
15
15
牛
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
1.5
1.5
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝、钢
铝、钢
尺寸
S版本:
48 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米
SF版本:
44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米
O版本:
44 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米
OF版本:
44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米
质量
0.32
0.32
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
米
±10 毫米
电压连接
Sub-D25针(公头)
Sub-D25针(公头)
传感器连接
Sub-D25针(公头)
–
推荐电控
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727
E-503、E-505、E-663、E-664、E-727
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
可提供用于传感器和工作电压的带LEMO连接器的适配器电缆。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-611.3S
NanoCube XYZ向纳米定位系统,100微米 × 100微米 × 100微米,应变片传感器
P-611.3O
NanoCube XYZ向纳米定位系统,120微米 × 120微米 × 120微米,不带传感器
P-611.3SF
NanoCube XYZ向纳米定位系统,100微米 × 100微米 × 100微米,应变片传感器,集成式光纤夹持器
P-611.3OF
NanoCube XYZ向纳米定位系统,120微米 × 120微米 × 120微米,不带传感器,集成式光纤夹持器
商品属性 [主动轴] X, Y, Z [行程] Open-loop:120/axis µm;Closed-loop:100/axis µm [集成传感器] SGS [刚性] 0.3N/µm [负载] 15N [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.2nm;Closed-loop:1nm [压电陶瓷] PICMA® P-885