P-363.2CL
PicoCube高精度XY向纳米定位系统,5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,LEMO连接器
P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统
-用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪
-用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具
-谐振频率9.8千赫兹
-电容式传感器可实现最高精度
-并联测量技术可实现导向误差的自动化补偿
-分辨率50皮米
- 行程5微米×5微米×5微米
-真空兼容版本
应用领域
扫描探针显微镜
原子力显微镜
扫描和筛选
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。、
P-363.3CD
P-363.2CD
单位
主动轴
X、Y、Z
X, Y
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
-250至+250伏时X、Y向上的开环行程
±3
±3
微米
-250至+250伏时Z向上的开环行程
±2.7
-
微米
X、Y向上的闭环行程
±2.5
±2.5
微米
Z向上的闭环行程
±2.5
-
微米
分辨率,开环*
0.03
0.03
纳米
分辨率,闭环
0.1
0.1
纳米
线性误差
0.05
0.05
%
重复精度**
1
1
纳米
X、Y向上的螺距/偏转角
0.5
0.5
微弧度
Z向运动时的倾斜
0.2
-
微弧度
X、Y向上的直线度
3
3
纳米
X、Y向上的平面度
<10
<10
纳米
X、Y向上的串扰(Z向运动)
5
-
纳米
机械特性
X、Y向上的空载谐振频率
3.1
4.2
千赫兹
Z向上的空载谐振频率
9.8
-
千赫兹
带负载时X、Y向上的谐振频率
1.5 (20 克)
2.1 (20 克)
千赫兹
负载容量
10
10
牛
陶瓷类型
PICA, PICA Shear
PICA Shear
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
钛金属
钛金属
尺寸
30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米
30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米
质量
225
190
克
电缆长度
1.5
1.5
米
传感器/电压连接
Sub-D24W7(公头)
Sub-D24W7(公头)
推荐电控
E-536
E-536
* 因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
**10 %行程时;50纳米为全行程时。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-363.2CD
PicoCube高精度XY向纳米定位系统,5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,Sub-D连接器
P-363.2CL
PicoCube高精度XY向纳米定位系统,5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,LEMO连接器
P-363.3CD
PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统,5微米 × 5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,Sub-D连接器
P-363.3CL
PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统,5微米 × 5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,LEMO连接器
商品属性 [主动轴] X,Y,Z/X,Y [集成传感器] Capacitive [工作温度] -20 to 80℃ [分辨率] Open-loop:0.03nm;Closed-loop:0.1nm [压电陶瓷] PICA, PICA Shear/ PICA Shear [负载] 10N