P-313.30D
高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器,1微米 × 1微米 × 0.6微米,开环,Sub-D连接器
P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
皮米级精度,高带宽,用于扫描探针显微镜
-用于AFM / SPM的高线性扫描仪
-分辨率高达20皮米,滞后小于1 纳米
-闭环驱动概念带来最高带宽
-用于生物技术/纳米技术的最高精度操纵工具
-谐振频率为4.0千赫兹(X、Y)、11 千赫兹 (Z)
-行程1微米×1微米×0.6微米
应用领域
扫描探针显微镜
原子力显微镜
扫描和筛选
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
P-313PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
单位
运动和定位
主动轴
X、Y、Z
X、Y向上的行程(±250伏)
1
微米
Z向上的行程(±250伏)
0.6
微米
X、Y向上的分辨率
0.02
纳米
Z向上的分辨率
0.14
纳米
机械特性
X、Y向上的谐振频率
4
千赫兹
Z向上的谐振频率
11
千赫兹
运动方向上的推/拉力
±10
牛
负载容量
±10
牛
其他
工作温度范围
5 到 40
°C
质量
80
克
电缆长度
1.5
米
电压连接
Sub-D 24W7(公头)
推荐电控
E-536
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-313.30L
高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器,1微米 × 1微米 × 0.6微米,开环,LEMO连接器
P-313.30D
高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器,1微米 × 1微米 × 0.6微米,开环,Sub-D连接器
商品属性 [行程] 1 µm × 1 µm (X,Y) 0.6 µm (Z) [分辨率] 0.02 nm (X, Y) 0.14 nm (Z)