P-733.3DD
高动态精密XYZ向纳米定位系统,30 微米 × 30 微米 × 10 微米,直接驱动,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器
具有孔径的高精度XYZ扫描仪
-X和Y向上的行程达100微米 × 100微米,Z向上的行程达10微米
-电容式传感器使分辨率达0.1纳米
-带直接驱动器的高速版本
-超高真空兼容和非磁性版本
-并联运动实现更高精度和动态
-导向误差主动补偿的并行计量
-零间隙,高精度柔性铰链导向系统
-50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
应用领域
-扫描显微镜 -共聚焦显微镜 -掩模/晶圆定位 -表面测量技术 -纳米压印 -显微操纵 -图像处理/稳定 -高运动平面度和直线度的纳米定位
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
P-733.3CDP-733.3CL
P-733.3DD
单位
公差
主动轴
X、Y、Z
X、Y、Z
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
-20至120 伏时的开环行程
115 微米×115 微米×12 微米
33 微米×33 微米×14 微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
100 微米×100 微米×10 微米
30 微米×30 微米×10 微米
分辨率,开环
0.2(Z向上为0.1)
0.1
纳米
典型值
分辨率,闭环
0.3(Z向上为0.2)
0.1
纳米
典型值
线性误差(X、Y)
0.03
0.03*
%
典型值
线性误差(Z)
0.03
0.03*
%
典型值
重复精度(X、Y)
<2
<2
纳米
典型值
重复精度(Z)
<1
<1
纳米
典型值
螺距(X、Y)
<±3
<±5
微弧度
典型值
偏转角(X、Y)
<±10
<±10
微弧度
典型值
Z向运动时的倾斜
<±5
<±5
微弧度
典型值
机械特性
刚度
1.4(Z向上为9)
4(Z向上为10)
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
460(Z向上为1400)
1200(Z向上为1100)
赫兹
±20 %
带120 克负载时的谐振频率
340(Z向上为1060)
–
赫兹
±20 %
带200 克负载时的谐振频率
295(Z向上为650)
530(Z向上为635)
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
50 / 20
50 / 20
牛
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
6(Z向上为2.4)
6.2(Z向上为3.3)
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
质量
0.675
0.675
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
CL版本:LEMO
Sub-D25W3(公头)
推荐电控
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712
* 带数字式控制器。 使用模拟控制器测量的直接驱动平台的非线性度高达0.1%的典型值。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
带直接驱动器
P-733.3DD
高动态精密XYZ向纳米定位系统,30 微米 × 30 微米 × 10 微米,直接驱动,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
带Sub-D连接器(公头)的版本
P-733.3CD
精密 XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 10 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
带LEMO连接器的版本
P-733.3CL
精密 XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 10 微米,电容传感器,平行计量,LEMO连接器
商品属性 [主动轴] X, Y, Z [行程] Open-loop:115×115×12µm/33×33×14µm;Closed-loop:100×100×10µm/30×30×10µm [集成传感器] Capacitive [刚性] 1.4 (9 in Z)/4 (10 in Z) N/µm [工作温度] -20 to 80℃ [分辨率] Open-loop:0.2 (0.1 in Z)/0.1nm;Closed-loop:0.3 (0.2 in Z)/0.1nm [压电陶瓷] PICMA® P-885