S-330.2SH
高动态偏摆台,2毫弧度偏摆角,应变片传感器,Sub-D 37 连接器(公头)
S-330 压电偏摆台
高动态,带大偏转角用于反射镜和光学元件
- 分辨率达20纳弧度
- 优异的位置稳定性
- 光束偏转达20毫弧度(>1度)
- 并联运动实现更高精度和动态和全桥应变片传感器
- 亚微秒级响应时间
- 用于直径长达50 毫米的反射镜
应用领域
-图像处理/稳定 -光学捕获 -激光扫描/光束偏转 -激光调谐 -光学过滤器/开关 -光学 -激光束稳定
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
规格
S-330.2SH /S-330.2SL
S-330.4SH /S-330.4SL
S-330.8SH /S-330.8SL
单位
公差
主动轴
θX, θY
θX, θY
θX, θY
运动和定位
集成式传感器*
应变片传感器
应变片传感器
应变片传感器
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角
3.5
7
15
毫弧度
最小
θX、θY向上的闭环偏摆角
2
5
10
毫弧度
θX、θY向上的开环分辨率
0.02
0.1
0.2
微弧度
典型值
θX、θY向上的闭环分辨率
0.05
0.25
0.5
微弧度
典型值
θX、θY向上的线性误差
0.05 **
0.2 ***
0.1 **
0.2 ***
0.1 **
0.2 ***
%
典型值
θX、θY向上的重复精度,10%偏摆角
0.06 **
0.15 ***
0.08 **
0.5 ***
0.15 **
1 ***
微弧度
典型值
θX、θY向上的重复精度,100%偏摆角
0.6 **
1.5 ***
0.8 **
5 ***
1.5 **
10 ***
微弧度
典型值
机械特性
θX、θY向上的空载谐振频率
2.4
2.0
1.0
千赫兹
±20 %
θX、θY向上带负载时的谐振频率(带玻璃反射镜,直径25 毫米,厚度8 毫米)
1.6
1.5
1.0
千赫兹
±20 %
枢轴点至平台表面的距离
6.5
6.5
6.5
毫米
±1 毫米
平台的惯性力矩
1530
1530
1530
克 × 平方毫米
±20 %
驱动特性
陶瓷类型
PICMA
PICMA
PICMA
电容
3/轴
6/轴
12.5/轴
微法
±20 %
其他
ID芯片功能
S-330.2SH
S-330.4SH
S-330.8SH
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料 外壳
钢
钢
钢
材料 平台
殷钢
殷钢
殷钢
质量
0.2
0.38
0.7
千克
±5 %
电缆长度
2
2
2
米
+100毫米/-0毫米
传感器/电压连接
SH版本:Sub-D 37针(公头)
SL版本:LEMO
SH版本:Sub-D 37针(公头)
SL版本:LEMO
SH版本:Sub-D 37针(公头)
SL版本:LEMO
推荐电控
E-503、E-505、E-663、E-727
E-503、E-505、E-663、E-727
E-503、E-505、E-663、E-727
*不带传感器的型号可按需提供。
**S-330.xSH与数字控制器相结合。
***S-330.xSL与E-5xx模拟控制器模块相结合。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
S-330.2SL
高动态偏摆台,2毫弧度偏摆角,应变片传感器,LEMO连接器
S-330.2SH
高动态偏摆台,2毫弧度偏摆角,应变片传感器,Sub-D 37 连接器(公头)
S-330.4SL
高动态偏摆台,5毫弧度偏摆角,应变片传感器,LEMO连接器
S-330.4SH
高动态偏摆台,5毫弧度偏摆角,应变片传感器,Sub-D 37 连接器(公头)
S-330.8SL
高动态偏摆台,10毫弧度偏摆角,应变片传感器,LEMO连接器
S-330.8SH
高动态偏摆台,10毫弧度偏摆角,应变片传感器,Sub-D 37 连接器(公头)
商品属性 [主动轴] θX,θY [集成传感器] SGS [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.02/0.1/0.2µrad;Closed-loop:0.05/0.25/0.5µrad [压电陶瓷] PICMA®