S-325.3SL
高动态 三轴压电陶瓷偏摆系统,5毫弧度,30微米,应变片传感器,LEMO连接器
S-325 压电陶瓷Z向/偏摆平台
用于反射镜和光学元件的高动态三脚系统
- 光束偏转达10毫弧度
- 分辨率达50纳弧度
- 线性行程达30微米(用于运行时调整)
- 紧凑型三脚设计
- 亚微秒级响应时间
- 闭环版本可实现更高精度
- 用于直径长达25 毫米(1英寸)的反射镜
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
- 并联运动实现更高精度和动态
应用领域
-图像处理/稳定 -光学捕获 -激光扫描/光束偏转 -激光调谐 -光学过滤器/开关 -光学 -激光束稳定
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
S-325.30L
S-325.3SL
S-325.3SD
单位
公差
主动轴
Z, θX, θY
Z, θX, θY
Z, θX, θY
运动和定位
集成传感器
–
应变片传感器
应变片传感器
0至100 伏时Z向上的开环行程
30
30
30
微米
+20 % / -0 %
0至100 伏时的偏摆角,开环
5
5
5
毫弧度
+20 % / -0 %
Z向上的闭环行程
–
30
30
微米
θX、θY向上的闭环偏摆角
–
4
4
毫弧度
Z向上的开环分辨率
0.5
0.5
0.5
纳米
典型值
θX、θY向上的开环分辨率
0.05
0.05
0.05
微弧度
典型值
Z向上的闭环分辨率
–
0.6
0.6
纳米
典型值
θX、θY向上的闭环分辨率
–
0.1
0.1
微弧度
典型值
机械特性
Z向上的空载谐振频率
2
2
2
千赫兹
±20 %
带负载时的谐振频率(带25 毫秒 × 8 毫米的玻璃反射镜)
1
1
1
千赫兹
±20 %
枢轴点至平台表面的距离
6
6
6
毫米
±0.5 毫米
平台 惯性力矩
515
515
515
克 × 平方毫米
±20 %
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
9.3
9.3
9.3
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
外壳材料
铝
铝
铝
质量
0.065
0.065
0.065
千克
±5 %
电缆长度
2
2
1.5
米
+100毫米/-0毫米
传感器/电压连接
LEMO
LEMO
Sub-D 25针(公头)
推荐电控
E-610、E-616、E-663、E-727
E-610、E-616、E-663、E-727
E-610、E-616、E-663、E-727
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
为实现最大摆角,三个压电陶瓷促动器必须在50伏时产生位移。并联运动设计使得线性行程和偏摆角相互依赖。规定的值均为纯线性倾斜运动的最大值。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
S-325.3SD
高动态 三轴压电陶瓷偏摆系统,5毫弧度,30微米,应变片传感器,Sub-D连接器
S-325.3SL
高动态 三轴压电陶瓷偏摆系统,5毫弧度,30微米,应变片传感器,LEMO连接器
S-325.30L
高动态 三轴压电陶瓷偏摆系统,5毫弧度,30微米,不带传感器,LEMO连接器
商品属性 [主动轴] Z,θX,θY [行程] Open-loop:30µm(in Z); Closed-loop:-/30µm(in Z) [集成传感器] -/SGS [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.5nm(in Z) 0.05µrad(in θX, θY);Closed-loop:-/0.6nm(in Z) -/0.1µrad(in θX, θY) [压电陶瓷] PICMA® P-885