S-311.10
三轴压电陶瓷偏摆系统,通光孔径,600微弧度,6微米,LEMO连接器
S-310 • S-316 压电Z向/偏摆扫描仪
带孔径的高动态系统
- 通光孔径为10毫米
- 三脚压电陶瓷驱动
- 线性行程达12微米(移相器)
- 亚微秒级响应时间
- 亚纳弧度级分辨率
- 闭环版本可实现更高精度
应用领域
-图像处理/稳定 -激光扫描/光束偏转 -激光调谐 -光学过滤器/开关 -激光束稳定 -干涉测量
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损且无需润滑。其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在较宽的温度范围内工作。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联运动多轴系统中,所有促动器均作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
S-310.10
S-314.10
S-311.10
S-315.10
S-316.10
S-316.10H
单位
公差
主动轴
Z
Z
Z、θX、θY
Z、θX、θY
Z、θX、θY
运动和定位
集成传感器
–
–
–
–
应变片传感器
0至100伏时Z向上的开环行程
6
12
6
12
12
微米
+20% / -0%
0至100伏时的开环偏摆角
–
–
600
1200
1200
微弧度
+20% / -0%
Z向上的闭环行程
–
–
–
–
12
微米
偏摆角,闭环
–
–
–
–
1200
微弧度
Z向上的开环分辨率
0.1
0.2
0.1
0.2
0.2
纳米
典型值
θX、θY向上的开环分辨率
–
–
0.02
0.05
0.05
微弧度
典型值
Z向上的闭环分辨率
–
–
–
–
0.4
纳米
典型值
θX、θY向上的闭环分辨率
–
–
–
–
0.1
微弧度
典型值
线性误差
–
–
–
–
0.2
%
典型值
机械特性
Z向上的刚性
20
10
20
10
10
牛/微米
±20%
Z向上的空载谐振频率
9.5
5.5
9.5
5.5
5.5
千赫兹
±20%
带负载时的谐振频率(带15毫米 × 4毫米的玻璃反射镜)
6.5
4.4
6.5
4.1
4.1
千赫兹
±20%
带负载时的谐振频率(带20毫米 × 4毫米的玻璃反射镜)
6.1
4.2
6.1
3.4
3.4
千赫兹
±20%
枢轴点至平台表面的距离
–
–
5
5
5
毫米
±0.5毫米
平台惯性力矩
–
–
150
150
150
克 × 平方毫米
±20%
驱动特性
陶瓷类型
PICMA P-882
PICMA P-882
PICMA P-882
PICMA P-882
PICMA P-882
电容
0.39
0.93
0.39(每轴0.13)
0.93(每轴0.31)
0.93(每轴0.31)
微法
±20%
其他
工作温度范围
-20至80
-20至80
-20至80
-20至80
-20至80
摄氏度
材料
钢
钢
钢
钢
钢
质量
0.053
0.055
0.045
0.055
0.055
千克
±5%
电缆长度
2
2
2
2
2
米
+100毫米/-0毫米
电压连接
LEMO
LEMO
LEMO
LEMO
S-316.10:
LEMO
S-316.10H:
D-sub 37针(公头)
传感器连接
–
–
–
–
S-316.10:
LEMO
S-316.10H:
D-sub 37针(公头)
推荐电控
E-505、E-610
E-505、E-610
E-503、E-505、E-610
E-503、E-505、E-610
S-316.10:
E-503、E-505、E-509、E-610、E-625
S-316.10H:
E-727
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
机械摆动,光束偏转为两倍大。为实现最大摆角,三个压电陶瓷促动器必须在50伏时产生位移。并联运动设计使得线性行程和偏摆角相互依赖。规定的值均为纯线性倾斜运动的最大值。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
S-310.10
压电陶瓷促动器,通光孔径,6微米,LEMO连接器
S-311.10
三轴压电陶瓷偏摆系统,通光孔径,600微弧度,6微米,LEMO连接器
S-314.10
压电陶瓷促动器,通光孔径,12微米,LEMO连接器
S-315.10
三轴压电陶瓷偏摆系统,通光孔径,1.2毫弧度,12微米,LEMO连接器,
S-316.10
三轴压电陶瓷偏摆系统,通光孔径,1.2毫弧度,12微米,应变片传感器,LEMO连接器
S-316.10H
三轴压电陶瓷偏摆系统,通光孔径,1.2毫弧度,12微米,应变片传感器,Sub-D 37 连接器(公头)
商品属性 [主动轴] Z, θX, θY [行程] Open-loop:6 / –µm [刚性] 20N/µm [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.1nm in Z , 0.02µrad in θX,θY [压电陶瓷] PICMA® P-882