Q-522 Q-Motion®小型线性平台 小尺寸、高分辨率、价格实惠的压电电机
• 宽度仅为22毫米,高度仅为10毫米 • 采用增量编码器实现直接位置测量,编码器分辨率高达1纳米(可选)
• 最小位移高达2纳米 • 不带转接器的XY向安装
• 安装无需转接器的Q-622转台 • 适用于高真空达10-6 百帕,超高真空变型可适用于10-9 百帕。
精密级微定位平台
Q-Motion®平台的尺寸小,位置分辨率高达纳米级。压电电机驱动器原理及其电气操作的成本效益好,可定制
PIShift压电陶瓷惯性驱动器
静止状态下自锁,因而无热量产生和伺服抖动。速度达10毫米/秒。保持力为1牛,馈通力为1牛
直接测量原理
可提供带非接触式光学线性编码器的版本。分辨率为4纳米或1纳米,取决于不同版本。带配置参考点开关的编码器的版本
真空和无磁性环境
所有Q-Motion平台都适用于高真空中的操作,真空可达10-6 百帕。此外,超高真空变型可适用于10-9 百帕。还可按需提供无磁性变型
应用领域
工业和科研。用于计量、显微镜、显微操纵、生物技术和自动化
规格
初步数据 Q-522.030 Q-522.040/
Q-522.04U
Q-522.130 Q-522.140/
Q-522.14U
Q-522.230 Q-522.240/
Q-522.24U
Q-522.x00/
Q-522.x0U
单位 运动和定位
行程为6.5毫 米,分辨率为4纳米
行程为6.5毫米,
分辨率为1纳米,超高真空版本Q-522.04U
行程为13毫 米,分辨率为4纳米
行程为13毫米,
分辨率为1纳米,超高真空版本Q-522.14U
行程为26毫 米,分辨率为4纳米
行程为26毫米,
分辨率为1纳米,超高真空版本Q-522.24U
行程为6.5毫米
至26毫米,开环,超高真空版本Q-522.x0U
主动轴
X
X
X
X
X
X
X
行程
6.5
6.5
13
13
26
26
6.5 到 26
mm 集成传感器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
-
传感器分辨率
4
1
4
1
4
1
-
nm
最小位移
8
2
8
2
8
2
-
nm
全行程范围内的单向重复性
25
25
25
25
30
30
-
nm
全行程范围内的双向重复性
40
40
40
40
50
50
-
nm
100微米行程范围内的单向重复性
12
12
12
12
12
12
-
100微米行程范围内的双向重复性
24
24
24
24
24
24
-
nm
全行程范围内的俯仰/偏转角
100
100
100
100
100
100
100
μrad
100微米行程范围内的俯仰/偏转角
1
1
1
1
1
1
1
μrad
最大速度*
10
10
10
10
10
10
10
mm/s
机械特性
负载容量
10
10
10
10
10
10
10
N
推/拉力
1
1
1
1
1
1
1
N
长度
22
22
32
32
42
42
22 到 42
mm
宽度
32
32
32
32
32
32
22
mm
高度
10
10
10
10
10
10
10
mm
驱动特性
电机类型
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
压电惯性驱动器
其他
工作温度范围
0 到 40
0 到 40
0 到 40
0 到 40
0 到 40
0 到 40
0 到 40
°C
材料
铝
铝
铝
铝
铝
铝
铝
质量,含电缆
107
107
118
118
128
128
68 到 88
g
电缆长度
1
1
1
1
1
1
1
m
连接器
Sub-D
Sub-D
Sub-D
Sub-D
Sub-D
Sub-D
Sub-D
推荐控制器
E-871,E-873
E-871,E-873
E-871,E-873
E-871,E-873
E-871,E-873
E-871,E-873
E-870
*控制频率为20千赫兹时的典型速度
Q-522平台系列取代LPS-22系列。
订购信息 Q-522.000
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.00U
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,
真空兼容至10-9 百帕
Q-522.030
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.040
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.04U
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,
真空兼容至10-9 百帕
Q-522.100
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.10U
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,
真空兼容至10-9 百帕
Q-522.130
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.140
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.14U
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,
真空兼容至10-9 百帕
Q-522.200
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.20U
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,
真空兼容至10-9 百帕
Q-522.230
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.240
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
Q-522.24U
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,
真空兼容至10-9 百帕
商品属性 [主动轴] X [行程] 6.5/13/26mm [集成传感器] 线性编码器 [负载] 10N [工作温度] 0~40℃ [分辨率] 4nm/1nm [电机类型] 压电惯性驱动器 [最小位移] 8/2nm