M-105 • M-106 线性滑轨 精密交叉滚子导轨,PiezoMike选项,XY(Z)组合
• 行程达18毫米 • 全不锈钢构造 • XY和XYZ组合 • 分辨率达0.1微米
• PiezoMike可供选择,分辨率为10纳米 • 可供选择的电机驱动器
规格
M-105.10* M-105.1P* M-106.10* 单位 公差 行程
18
18
5
毫米
压电陶瓷精确行程范围
–
30
–
微米
增量运动(压电陶瓷驱动器)
–
0.01
–
微米
最小
增量运动(测微计驱动器)**
1
1
0.1
微米
最小
空回
2
2
2
微米
直线度
2
2
2
微米
平面度
2
2
2
微米
负载容量
100
100
100
牛
最大
推/拉力
20 / 4
20 / 4
20 / 4
牛
最大
侧力
4
4
4
牛
最大
驱动器
M-626.00
P-854.00
M-653.00
微米级螺距(粗/精)
0.5 / –
0.5 / –
0.4 / 0.02
毫米/圈
质量
0.32
0.38
0.33
千克
外壳材料
St
St
St
推荐压电式驱动器
–
E-660,E-610,E-500系统
–
*M-105.2x、M-106.2x和M-105.3x、M-106.x0版本为基础1x版本的组合
**机动化版本可达50纳米。
订购信息 M-105.10 精密平移台,18毫米
M-105.11 精密平移台、18毫米、带可锁定测微计驱动器
M-105.20 XY-精密平移台,18毫米
M-105.30 XYZ-精密平移台,18毫米,(包括M-009.10、侧装型Z型支架)
M-105.1P 精密平移台,18毫米,PiezoMike驱动器
M-105.2P XY-精密平移台,18毫米,PiezoMike驱动器
M-105.3P XYZ-精密平移台,18毫米,PiezoMike驱动器(包括M-009.10、侧装型Z型支架)
M-106.10 精密平移台、5毫米、差动测微计驱动器
M-106.20 XY-精密平移台、5毫米、差动测微计驱动器
M-106.30 XYZ-精密平移台,5毫米,差动测微计驱动器(包括M-009.10、侧装型Z型支架)
M-105.1B 精密平移台,主机,驱动器单独订购
M-105.2B XY-精密平移台,主机,驱动器单独订购
M-105.3BA XYZ-精密平移台,主机(包含M-105.VB1、顶装型Z型支架)、驱动器单独订购
M-105.3BB XYZ-精密平移台,主机(包含M-009.10、侧装型Z型支架)、驱动器单独订购
商品属性 [主动轴] [行程] 18毫米 [负载] 100牛 [最小位移] 0.01微米(压电陶瓷驱动器) 1微米(测微计驱动器)