A-123.050B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,50毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台
高性能纳米级定位平台
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米
- 行程50 毫米至750 毫米
- 分辨率达1纳米
产品概述
PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供让人满意的性能、质量和使用寿命。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度,高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使平台成为无尘室应用的优先选择。
附件和可选配件
编码器
PIglide过滤器和空气预处理器
单轴和多轴运动控制器
XY装置和个性化配置
电缆轨道变型
用于垂直(Z)方向的配重选项
可提供定制版
花岗岩底座板和隔振系统
运动
A–123.050
A–123.100
A–123.150
A–123.200
A–123.350
A–123.500
A–123.750
单位
公差
主动轴
X
X
X
X
X
X
X
行程
50
100
150
200
350
500
750
毫米
螺距/偏转角(1)
5
10
15
15
20
25
35
微弧度
最大
直线度/平面度(1)
1
1
1
1.5
2
2.5
3
微米
最大
每25毫米行程的直线度/平面度(1)
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
微米
最大
速度,空载(2)
1
1
1
1
1
1
1
米/秒
最大
加速度,空载(2)
30
30
30
30
30
30
30
米/平方秒
最大
机械特性
A–123.050
A–123.100
A–123.150
A–123.200
A–123.350
A–123.500
A–123.750
单位
公差
Z向负载能力(3、7)
410
410
410
410
410
410
410
牛
最大
Y向负载能力(3、7)
295
295
295
295
295
295
295
牛
最大
θx向上的允许力矩(7)
30
30
30
30
30
30
30
牛米
最大
θy向上的允许力矩(7)
12
12
12
12
12
12
12
牛米
最大
移动质量
5
5
5
5
5
5
5
千克
总质量
14
15.5
16.5
18
21.5
25
32
千克
导向类型
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
驱动特性
A–123
单位
公差
驱动类型
无铁芯三相线性电机
中间电路电压,均方根
48,标称值
80,最大值
伏直流
峰值力
298
牛
典型值
标称力
87.5
牛
典型值
力常数,均方根
19.9
牛/安
典型值
相间电阻
3.6
欧姆
典型值
相间电感
1.2
毫亨
典型值
相间反电动势
16
伏·秒/米
最大
布线
外部,移动电缆
定位
A–123.xxxA
A–123.xxxB
集成传感器
增量线性编码器
绝对编码器
传感器信号
正弦/余弦,1伏峰峰值,
20微米信号周期
BiSS-C
传感器分辨率
1.2纳米(4)
1纳米
双向重复性
A-123.050:± 0.15微米(4)
A-123.100:± 0.15微米(4)
A-123.150:± 0.15微米(4)
A-123.200:± 0.15微米(4)
A-123.350:± 0.2微米(4)
A-123.500:± 0.2微米(4)
A-123.750:± 0.5微米(4)
A-123.050:± 0.15微米
A-123.100:± 0.15微米
A-123.150:± 0.15微米
A-123.200:± 0.15微米
A-123.350:± 0.2微米
A-123.500:± 0.2微米
A-123.750:± 0.5微米
定位精度,未校准(5)
A-123.050:± 1微米
A-123.100:± 1微米
A-123.150:± 1.5微米
A-123.200:± 2微米
A-123.350:± 3微米
A-123.500:± 3.5微米
A-123.750:± 5微米
A-123.050:± 1.5微米
A-123.100:± 1.5微米
A-123.150:± 1.5微米
A-123.200:± 1.5微米
A-123.350:± 1.5微米
A-123.500:± 1.5微米
A-123.750:± 1.5微米
定位精度,已校准(5)
A-123.050:± 0.3微米
A-123.100:± 0.3微米
A-123.150:± 0.3微米
A-123.200:± 0.3微米
A-123.350:± 0.3微米
A-123.500:± 0.5微米
A-123.750:± 0.5微米
A-123.050:± 0.3微米
A-123.100:± 0.3微米
A-123.150:± 0.3微米
A-123.200:± 0.3微米
A-123.350:± 0.3微米
A-123.500:± 0.5微米
A-123.750:± 0.5微米
其他
A–123
工作压力(6)
75至85磅 /平方英寸(515至585千帕)
耗气量
< 1.0 SCFM (28 SLPM)
空气质量
清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573–1 级别1
无油 - ISO 8573–1 级别1
干燥(-15°C露点) - ISO 8573–1 级别3
材料
硬膜铝,不锈钢固定硬件
(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定有效载荷重心居中位于运动平台上方50毫米范围以内的位置。
(4)假定16384x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。
(5)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。
(6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
(7)假定空气轴承工作压力为80磅/平方英寸(550千帕)。
A-123.050A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,50毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.050B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,50毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.100A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,100毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.100B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,100毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.150A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,150毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.150B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,150毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.200A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,200毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.200B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,200毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.350A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,350毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.350B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,350毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.500A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,500毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.500B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,500毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.750A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,750毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.750B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,750毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
商品属性 [行程] 50/150/200/350/500/750mm [电机类型] Brushless ironless linear servo motor, 3-phase [主动轴] X