A-110.050B1
PIglideLC线性平台,空气轴承,50毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110 带空气轴承的PIglideLC线性平台
价格便宜的高性能纳米级定位平台
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 运动平台的尺寸160毫米×200 毫米
- 行程达400 毫米
- 负载容量达100 牛
产品概述
PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器:非接触式无摩擦运动实现最佳精度和可靠性
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使平台成为无尘室应用的优先选择。
附件和可选配件
编码器
PIglide Filter und Druckregler
单轴和多轴运动控制器
XY装置和个性化配置
花岗岩底座板和隔振系统
运动
A-110.050xx
A-110.100xx
A-110.200xx
A-110.300xx
A-110.400xx
单位
公差
主动轴
X
X
X
X
X
行程
50
100
200
300
400
毫米
螺距/偏转角(1)
15
15
20
30
40
微弧度
最大
直线度/
平面度(1)0.5
0.5
1
1
1.5
微米
最大
每10毫米
行程的直线度/平面度(1)±10
±10
±10
±10
±10
纳米
最大
速度,空载(2)
0.5
0.5
1
1
1
米/秒
最大
加速度,空载(2)
10
10
30
30
30
米/平方秒
最大
机械特性
A-110.050xx
A-110.100xx
A-110.200xx
A-110.300xx
A-110.400xx
单位
公差
Z向负载能力(3)
100
100
100
100
100
牛
最大
移动质量
2.5
2.5
2.6
2.6
2.6
千克
总质量
6.3
7.5
11
12
14
千克
导向类型
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
驱动特性
A-110.050xx
A-110.100xx
A-110.200xx
A-110.300xx
A-110.400xx
单位
公差
驱动类型
无铁芯三相线性电机
无铁芯三相线性电机
中间电路电压,均方根
48,标称值
60,最大值
48,标称值
60,最大值
伏直流
峰值力
25
85
牛
典型值
标称力
9.2
39
牛
典型值
力常数,均方根
4.2
12.3
牛/安
典型值
相间电阻
8.2
3.6
欧姆
典型值
相间电感
2.7
1.24
毫亨
典型值
相间反电动势
4.2
10.1
伏·秒/米
最大
布线
内部,无移动电缆
外部,移动电缆
定位
A-110.xxxA
A-110.xxxB
集成传感器
增量线性编码器
绝对编码器
传感器信号
正弦/余弦,1伏峰峰值,20微米信号周期
BiSS-C
传感器分辨率
1.2纳米(4)
1纳米
双向重复性
±0.1微米(4)
±0.1微米
定位精度,未校准(5)
A-110.050:± 1.5微米
A-110.100:± 1.5微米
A-110.200:± 2微米
A-110.300:± 3微米
A-110.400:± 4微米
A-110.050:± 1.5微米
A-110.100:± 1.5微米
A-110.200:± 1.5微米
A-110.300:± 1.5微米
A-110.400:± 1.5微米
定位精度,已校准(5)
A-110.050:± 0.5微米
A-110.100:± 0.5微米
A-110.200:± 0.5微米
A-110.300:± 0.5微米
A-110.400:± 0.5微米
A-110.050:± 0.5微米
A-110.100:± 0.5微米
A-110.200:± 0.5微米
A-110.300:± 0.5微米
A-110.400:± 0.5微米
其他
A-110
工作压力(6)
60至70磅 /平方英寸(415至485千帕)
耗气量
< 1.0 SCFM (28 SLPM)
空气质量
清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573–1 级别1
无油 - ISO 8573–1 级别1
干燥(-15°C露点) - ISO 8573–1 级别3
材料
硬膜铝,不锈钢固定硬件
(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定有效载荷重心位于运动平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。
(4)假定16384x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。
(5)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台必须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。
(6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
A-110.050A1
PIglideLC线性平台,空气轴承,50毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.050B1
PIglideLC线性平台,空气轴承,50毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.100A1
PIglideLC线性平台,空气轴承,100毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.100B1
PIglideLC线性平台,空气轴承,100毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.200A1
PIglideLC线性平台,空气轴承,200毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.200B1
PIglideLC线性平台,空气轴承,200毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.300A1
PIglideLC线性平台,空气轴承,300毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.300B1
PIglideLC线性平台,空气轴承,300毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.400A1
PIglideLC线性平台,空气轴承,400毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-110.400B1
PIglideLC线性平台,空气轴承,400毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
商品属性 [主动轴] X [集成传感器] Incremental linear encoder/Absolute Encoder [负载] in z:100N [电机类型] Linear motor, ironless,3-phase [行程] 50/100/200/300/400mm