M-511 • M-521 • M-531 高精度线性定位平台 行程精度高、行程范围长、多种电机变种
• 行程为102、204和306毫米(4"、8"、12") • 最大速度高达100毫米/秒 • 编码器分辨率为50纳米
• 负载能力达100千克 • 零空回滚珠丝杠
参考级线性平台
精密线性导向装置配置带预载再循环滚珠丝杠,可实现高行程精度和负载能力。空回补偿型再循环滚珠丝杠,螺距为2毫米。应力消除铝可实现高稳定性。
XY和XYZ组合可使用M-501/M-451精密Z向位移台。可提供真空版本
驱动器类型和位置计量
M-5x1.DD1:直接驱动器。带集成式ActiveDrive放大器的直流电机与直接测量线性编码器相结合实现高分辨率和重复性
M-5x1.DD2:带集成式制动器的版本
直接驱动器。用于高速度的直流电机与精密旋转编码器相结合
M-5x1.EC:带集成块换向的无刷直流电机
M-5x1.PD1:带集成式ActiveDrive放大器的直流电机
带减速齿轮的直流伺服电机与精密旋转编码器相结合可实现高分辨率和重复性
M-5x1.DG1:带直接控制的直流电机(模拟量)
M-5x1.PG1:带集成式ActiveDrive放大器的直流电机
M-5x1.2S1:步进电机
非接触式限位开关 非接触式方向感应参考点开关位于行程的中点
应用领域
科研和工业。真空环境高达10-6百帕。检验,MEMS制造
规格
M-5x1.DD1 /
M-5x1.DD2M-5x1.EC /
M-5x1.PD1M-5x1.DG1 /
M-5x1.PG1M-5x1.2S1
单位
公差
运动和定位
行程
M-511: 102 (4") / M-521: 204 (8") / M-531: 306 (12")
毫米 集成传感器
线性编码器
旋转编码器
旋转编码器
-
传感器分辨率
0.02微米
4096
2048
-
步/圈
设计分辨率
0.05
0.5
0.033
0.31**
微米
典型值
最小位移
0.1
0.5
0.1
0.1
微米
典型值
单向重复精度
0.1
0.5
0.2
0.2
微米
典型值
空回
±0.2*
1
1
1
微米
典型值
螺距/偏转角
±25 / ±35 / ±35
微弧度 每100毫米的
直线度/平面度
1
1
1
1
微米
速度
50
100
6
20
毫米/秒
最大
机械特性
滚珠丝杠的
丝杠螺距
2
2
2
2
毫米
齿轮速比
–
–
(28/12)4 ~ 29.6:1
–
负载容量
1000
牛 最大 推/拉力
80
牛 最大 可允许的侧向力
200
牛 最大 驱动特性
电机类型
带PWM控制的直流电机
带PWM控制的
直流电机***
直流齿轮电机
两相步进电机**
电机分辨率
–
–
–
6400**
步/圈
导向
精密线性导轨,再循环滚珠轴承
工作电压
24(脉宽调制)
24(脉宽调制)
M-5x1.DG1:0至±12
M-5x1.PG1:24(PWM)
24
伏
电机功率
30
60
3
5
瓦
标称
力矩
80
70
5
150
毫牛米
标称
参考点和限位
开关
霍尔效应
霍尔效应
霍尔效应
霍尔效应
其他
工作温度范围
10 到 50
-20 到 65
-20 到 65
-20 到 65
°C
材料
铝(黑色阳极氧化)
质量
5 (M-511) / 6.1 (M-521)
/ 7.2 (M-531)
千克
±5 %
连接器
Sub-D15针、3米电缆。
*推荐控制器:
C-863
C-884
C-863
C-884
C-863
C-884
C-663
询问定制设计!
*带线性编码器的版本的双向重复性。
**最大为0.85安/相;400步/转。带C-663步进电机控制器的电机分辨率。
*** M-5xx.EC:带PWM控制的无刷直流电机
订购信息 行程为204毫米的平台:
M-521.DD1 精密平移台、204毫米、ActiveDrive直流电机、线性编码器
M-521.DD2 精密平移台、204毫米、ActiveDrive直流电机、线性编码器、电机制动器
M-521.PD1 精密平移台、204毫米、ActiveDrive直流电机、旋转编码器
M-521.EC 精密平移台、204毫米、无刷直流电机、旋转编码器
M-521.DG1 精密平移台、204毫米、直流齿轮电机、旋转编码器
M-521.PG1 精密平移台、204毫米、ActiveDrive直流齿轮电机、旋转编码器
M-521.2S1 精密平移台、204毫米、步进电机
行程为306毫米的平台:
M-531.DD1 精密平移台、306毫米、ActiveDrive直流电机、线性编码器
M-531.DD2 精密平移台、306毫米、ActiveDrive直流电机、线性编码器、电机制动器
M-531.PD1 精密平移台、306毫米、ActiveDrive直流电机、旋转编码器
M-531.EC 精密平移台、306毫米、无刷直流电机、旋转编码器
M-531.DG1 精密平移台、306毫米、直流齿轮电机、旋转编码器
M-531.PG1 精密平移台、306毫米、ActiveDrive直流齿轮电机、旋转编码器
M-531.2S1 精密平移台、306毫米、步进电机
行程为102毫米的平台:
M-511.DD1 精密平移台、102毫米、ActiveDrive直流电机、线性编码器
M-511.DD2 精密平移台、102毫米、ActiveDrive直流电机、线性编码器、电机制动器
M-511.PD1 精密平移台、102毫米、ActiveDrive直流电机、旋转编码器
M-511.EC 精密平移台、102毫米、无刷直流电机、旋转编码器
M-511.DG1 精密平移台、102毫米、直流齿轮电机、旋转编码器
M-511.PG1 精密平移台、102毫米、ActiveDrive直流齿轮电机、旋转编码器
M-511.2S1 精密平移台、102毫米、步进电机
商品属性 [主动轴] 306 毫米(12") [集成传感器] 线性编码器/旋转编码器/- [负载] 1000牛 [电机类型] 带PWM控制的直流电机/直流齿轮电机/两相步进电机 [工作温度] 10 ~ 50℃ /-20~65℃ [最小位移] 0.1/0.5微米