H-824.D2
紧凑型六足位移台微型机器人,直接驱动,25毫米/秒,5公斤负载, Sub-D连接器, 成套电缆3米
H-824 六轴六足位移台
紧凑、精确
-负载容量达10 公斤,自锁版本
-行程达45 毫米/25度
- 最小位移达0.3 微米
-重复精度至±0.1 微米/±2微弧度
- 速度达25毫米/秒
- 可提供真空兼容版本
精密级六轴定位系统
六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 真空兼容版本可达10-6百帕
折叠驱动设计,外形紧凑
应用领域
科研和工业,标准和真空环境。用于显微操纵、生物技术、半导体制造
运动和定位
H-824.G2 / G2V**
H-824.D2 / D2V**
单位
公差
实现更高分辨率和负载
实现更高速度
主动轴
X,Y,Z,θX,θY,θZ
X,Y,Z,θX,θY,θZ
X、Y向上的行程*
±22.5
±22.5
毫米
Z向上的行程*
±12.5
±12.5
毫米
θX、θY向上的行程*
±7.5
±7.5
°
θZ向上的行程*
±12.5
±12.5
°
促动器设计分辨率
0.007
0.5
微米
X、Y和Z向上的最小位移
0.3
2; 2; 1
微米
典型值
θX、θY、θZ向上的最小位移
3.5
12; 12; 14
微弧度
典型值
X、Y向上的空回
2; 2 / 5; 5
1.5 / 3
微米
典型值
Z向上的空回
0.7 / 1.5
1 / 1.5
微米
典型值
θX、θY向上的空回
14 / 30
15 / 20
微弧度
典型值
θZ向上的空回
17 / 45
30 / 60
微弧度
典型值
X、Y向上的重复精度
±0.25 / ±0.4
±0.5
微米
典型值
Z向上的重复精度
±0.1
±0.15
微米
典型值
θX、θY向上的重复精度
±2
±3
微弧度
典型值
θZ向上的重复精度
±2 / ±3
±2.5
微弧度
典型值
X、Y和Z向上的最大速度
1 / 0.5
25 / 12.5
毫米/秒
θX、θY、θZ向上的最大速度
11 / 5.5
270 / 135
毫弧度/秒
Typ. X、Y和Z向上的典型速度
0.5 / 0.2
10 / 5
毫米/秒
Typ. θX、θY、θZ向上的速度
5.5 / 2.3
55 / 28
毫弧度/秒
机械特性
H-824.G2 / G2V**
H-824.D2 / D2V**
单位
公差
X、Y向上的刚性
1.7
1.7
牛/微米
Z向上的刚性
7
7
牛/微米
负载能力(底板为水平方向)
10 / 5
5 / 2.5
千克
最大
负载能力(底板为任意方向)
5 / 2.5
2.5 / 1.25
千克
最大
保持力(断电、底板为水平方向)
100 / 50
15
牛
最大
保持力(断电、底板为任意方向)
50 / 25
5
牛
最大
电机类型
直流齿轮电机
直流电机
其他
H-824.G2 / G2V**
H-824.D2 / D2V**
单位
公差
工作温度范围
-10 到 50
-10 到 50
°C
材料
铝
铝
质量
8
8
千克
±5 %
电缆长度
3
3
米
±10 毫米
推荐控制器
C-887.5x
C-887.5x
技术参数为 20±3 °C下的数值。
* 单个坐标(X、Y、Z、θX、θY和θZ)的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程,此时其他轴和枢轴点位于参考位置。
**对于真空连续操作,由于发热,可能需要对运行参数进行限制。
H-824.G2
紧凑型六足位移台微型机器人,减速齿轮,1毫米/秒,10公斤负载, Sub-D连接器, 成套电缆3米
H-824.D2
紧凑型六足位移台微型机器人,直接驱动,25毫米/秒,5公斤负载, Sub-D连接器, 成套电缆3米
H-824.G2V
紧凑型六足位移台微型机器人,减速齿轮,0.5 毫米/秒,5 公斤负载,真空兼容至10-6 百帕, Sub-D连接器, 2 米真空端电缆,引线,3米空气端电缆
H-824.D2V
紧凑型六足位移台微型机器人,直接驱动,12.5毫米/秒,2.5公斤负载,真空兼容至10-6 百帕, Sub-D连接器, 2 米真空端电缆,引线,3米空气端电缆
商品属性 [主动轴] X, Y, Z, θX, θY, θZ [刚性] 1.7N/µm(X,Y) 7N/µm(Z) [电机类型] DC motor/DC gear motor [工作温度] -10~50℃ [行程] ±22.5mm(X,Y) ±12.5mm(Z) ±7.5°(θX,θY) ±12.5°(θZ)