P-621.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台
行程可变的高精度XY向纳米定位器
- 行程为50至1800微米
- 分辨率达0.1纳米
- 定位精度 0.02 %
- 带电容式传感器的直接计量
- X、XY、Z和XYZ型
应用领域
-干涉测量 -显微镜 -纳米定位 -生物技术 -测试程序和质量保证 -光子 -光纤定位 -半导体技术
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
P-620.2CD
P-620.2CL
P-621.2CD
P-621.2CL
P-622.2CD
P-622.2CL
P-625.2CD
P-625.2CL
P-628.2CD
P-628.2CL
P-629.2CD
P-629.2CL
单位
公差
主动轴
X, Y
X, Y
X, Y
X, Y
X, Y
X, Y
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
电容式
电容式
电容式
电容式
-20至120 伏时X、Y向上的开环行程
60
120
300
600
950
1800
微米
+20 % / -0 %
X、Y向上的闭环行程
50
100
250
500
800
1500
微米
X、Y向上的开环分辨率
0.1
0.2
0.4
0.5
0.5
2
纳米
典型值
X、Y向上的闭环分辨率
0.2
0.4
0.7
1.4
3.5
3.5
纳米
典型值
X、Y向上的线性误差
0.02
0.02
0.02
0.03
0.03*
0.03**
%
典型值
X、Y向上的重复精度
±2
±2
±2
±5
±10
±14
纳米
典型值
螺距/偏转角
±3
±3
±3
±3 / ±5
±20 / ±5
±30 / ±5
微弧度
典型值
机械特性
X、Y向上的刚性
0.22
0.25
0.2
0.1
0.05
0.1
牛/微米
±20 %
X向上的空载谐振频率
575
420
225
135
75
60
赫兹
±20 %
Y向上的空载谐振频率
800
535
300
195
105
100
赫兹
±20 %
带50 克负载时X向上的谐振频率
270
285
180
120
60
55
赫兹
±20 %
带50 克负载时Y向上的谐振频率
395
365
215
150
85
85
赫兹
±20 %
带100 克负载时X向上的谐振频率
285
220
160
105
55
50
赫兹
±20 %
带100 克负载时Y向上的谐振频率
300
285
175
125
75
80
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
10 / 5
10 / 8
10 / 8
10 / 8
10 / 8
10 / 8
牛
最大
负载容量
10
10
10
10
10
10
牛
最大
侧力
10
10
10
10
10
10
牛
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMAP-883
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-887
PICMAP-888
X、Y向上的电容
0.35
1.5
3.1
6.2
19
52
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
铝
铝
铝
铝
尺寸
30 毫米 × 30 毫米 × 21.5 毫米
40 毫米 × 40 毫米 × 25 毫米
50 毫米 × 50 毫米 × 25 毫米
60 毫米 × 60 毫米 × 25 毫米
80 毫米 × 80 毫米 × 25 毫米
100 毫米 × 100 毫米 × 40 毫米
质量
0.195
0.295
0.348
0.43
0.7
1.37
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
推荐电控
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727
E-503、E-505、E-663、E-712、E-727
*带数字控制器。带模拟量控制器0.05 %。
**带数字控制器。带模拟量控制器0.08 %。
下轴:X;上轴:Y。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
不带传感器的版本的订购编码为P-62x.20L;工作温度范围为-20至150 摄氏度;LEMO电压连接。
可提供真空达10-9 百帕的版本,订购编码为P-62x.2UD。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-620.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统,50微米 × 50微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-621.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-622.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统,250微米 × 250微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-625.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统,500微米 × 500微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-628.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统,800微米 × 800微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-629.2CD
精密PIHera XY向纳米定位系统,1500微米 × 1500微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
商品属性 [主动轴] X,Y [行程] Open-loop:60μm ; Closed-loop:50μm [集成传感器] Capacitive [刚性] 0.22N/μm [负载] 10N [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.1nm ; Closed-loop:0.2nm [压电陶瓷] PICMA® P-883