A-311.AB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,100毫米 × 100微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311 带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪
高性能,紧凑型XY纳米定位系统
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 行程达200 毫米 × 200 毫米
- 负载容量达147 牛
- 低外形
- 分辨率达1纳米
产品概述
带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计,可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限,能够节省机械空间。
附件和可选配件
编码器
PIglide过滤器和空气预处理器
多轴运动控制器和直接驱动器
机器底座
花岗岩底座板和隔振系统
PIMag磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。
利用来自领先制造商的数字控制器,操作可提供高级控制算法,以改善动态性和误差补偿。
应用领域
PIglide 定位系统特别适合高精度应用,例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。
规格
运动
A-311.Dxx
A-311.Axx
A-311.Bxx
A-311.Cxx
单位
公差
行程
50 × 50
100 × 100
150 × 150
200 × 200
毫米
螺距(1)
20
25
35
40
微弧度
最大
偏转角(1)
10
10
15
20
微弧度
最大
直线度(1)
0.5
0.5
0.5
1
微米
最大
每10毫米行程的直线度(1)
±10
±10
±10
±10
纳米
最大
平面度(1)
0.5
0.5
1
1.5
微米
最大
每10毫米行程的平面度(1)
±10
±10
±10
±10
纳米
最大
XY正交性
25
25
25
25
微弧度
最大
速度,空载(2)
2
2
2
2
米/秒
最大
上轴加速度,空载(2)
27.5
27.5
27.5
27.5
米/平方秒
最大
下轴加速度,空载(2)
15
13
11
10
米/平方秒
最大
机械特性
A-311.Dxx
A-311.Axx
A-311.Bxx
A-311.Cxx
单位
公差
Z向负载能力(3)
147
147
147
147
牛
最大
移动质量,上轴
3
3
3
3
千克
移动质量,上轴,下轴
5.5
6.5
7.5
8.5
千克
总质量
14.5
18.5
22.5
27.5
千克
导向类型
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
驱动特性
A-311
单位
公差
驱动类型
无铁芯三相线性电机
中间电路电压,均方根
48,标称值
80,最大值
伏直流
峰值力
85
牛
典型值
标称力
39
牛
典型值
力常数,均方根
12.3
牛/安
典型值
相间电阻
3.6
欧姆
相间电感
1.24
毫亨
相间反电动势
10.1
伏·秒/米
最大
布线
外部,可移动牵引链
定位
A-311.xAx
A-311.xBx
集成传感器
增量线性编码器
绝对编码器
传感器信号
正弦/余弦,1伏峰峰值,20微米信号周期
BiSS-C
传感器分辨率
1.2纳米(4)
1纳米
双向重复性
±0.1微米(4)
±0.1微米
定位精度,未校准(5)
A-311.Dxx:± 1微米
A-311.Axx:± 1.5微米
A-311.Bxx:± 2微米
A-311.Cxx:± 2.5微米
A-311.Axx:± 1.5微米
A-311.Axx:± 1.5微米
A-311.Axx:± 1.5微米
A-311.Axx:± 1.5微米
定位精度,已校准(5)
±0.2微米
±0.2微米
其他
A-311
工作压力(6)
60至70磅 /平方英寸(415至485千帕)
耗气量
< 2 SCFM (56 SLPM)
空气质量
清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573–1 级别1
无油 - ISO 8573–1 级别1
干燥(-15°C露点) - ISO 8573–1 级别3
材料
硬膜铝,不锈钢固定硬件
(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定有效载荷重心位于运动平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。
(4)假定16384x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。
(5)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台必须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。
(6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
如未有其他规定,所有规格逐轴应用。
A-311.AA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,100毫米 × 100微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.AB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,100毫米 × 100微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.BA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,150毫米 × 150微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.BB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,150毫米 × 150微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.CA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,200毫米 × 200微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.CB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,200毫米 × 200微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.DA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,50毫米 × 50微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.DB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,50毫米 × 50微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
商品属性 [行程] 50 x 50mm/100x 100mm/150x 150mm/200x 200mm [负载] 147N(in Z)