PIFOC 物镜扫描台用于显微镜换镜旋座,高动态特性
直推式结构,精度较高
无回差柔性铰链并联导向结构,物镜补偿量较小,具有超高聚焦稳定性
采用PICMA压电陶瓷促动,超长寿命
N-725
最大尺寸:52×75×40 mm ;
重复精度:±25nm;
最大目镜直径:21;
推拉力:10N;
闭环行程:2000μm;
刚度:0.5N/μm;
传感器:线性编码器;
串扰(X,Y):<100nm。
闭环分辨率:20nm;
线性度:0.1%;
商品属性 [主动轴] [行程] 闭环行程:2000μm [集成传感器] 线性编码器 [刚性] 0.5N/μm [分辨率] 闭环分辨率:20nm