P-541.2CD
带大孔径的XY向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,并联运动,电容传感器,Sub-D连接器
P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台
大口径低外形XY纳米定位系统
-低外形、易于集成:16.5毫米
- 孔径为80 毫米 × 80 毫米
-行程达200 微米 × 200 微米
-并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
-高动态直接驱动版本
- 传感器技术:价格实惠的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
-PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
-可与显微镜平台组合实现更长行程
应用领域
-扫描显微镜 -高吞吐量显微镜 -超分辨率显微镜 -掩模/晶圆定位 -干涉测量 -测量技术 -生物技术 -显微操纵
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
P-541.2CD /P-541.2CL
P-542.2CD /P-542.2CL
P-541.2DD
P-541.2SL
P-542.2SL
P-541.20L/P-542.20L
单位
公差
主动轴
X, Y
X, Y
X, Y
X, Y
X, Y
X, Y
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
电容式
应变片传感器
应变片传感器
–
-20至+120 伏时的开环行程
150 微米×150 微米
250 微米×250 微米
60 微米×60 微米
150 微米×150 微米
250 微米×250 微米
见P-541.2CD / P-542.2CD
+20 % / -0 %
行程,闭环
100 微米×100 微米
200 微米×200 微米
45 微米×45 微米
100 微米×100 微米
200 微米×200 微米
–
分辨率,开环/闭环
0.2 / 0.3
0.4 / 0.7
0.1 / 0.3
0.2 / 2.5
0.4 / 4
开环为0.2 / 0.4
纳米
典型值
线性误差
0.03
0.03
0.03*
0.2
0.2
–
%
典型值
重复精度
<5
<5
<5
<10
<10
–
纳米
典型值
螺距
<5
<5
<3
<5
<5
<5
微弧度
典型值
偏转角
<10
<10
<3
<10
<10
<10
微弧度
典型值
机械特性
运动方向上的刚性
0.47
0.4
10
0.47
0.4
0.47 / 0.4
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
255
230
1550
255
230
255 / 230
赫兹
±20 %
带100 克负载时的谐振频率
200
190
–
200
190
200 / 190
赫兹
±20 %
带200 克负载时的谐振频率
180
–
1230
180
–
180 / –
赫兹
±20 %
带300 克负载时的谐振频率
150
145
–
150
145
150 / 145
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
100 / 30
100 / 30
100 / 30
100 / 30
100 / 30
100 / 30
牛
最大
负载容量
20
20
20
20
20
20
牛
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
每轴的电容
4.2
7.5
9
4.2
7.5
4.2 / 7.5
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
铝
铝
铝
铝
质量
0.75
0.75
0.75
0.73
0.73
0.7
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
CL版本:LEMO
Sub-D25W3(公头)
LEMO
LEMO
LEMO(无传感器)
推荐电控
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
* 带数字式控制器。 使用模拟控制器测量的直接驱动平台的非线性度高达0.1%的典型值。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-541.2DD
带大孔径的XY向纳米定位系统,高动态直接驱动,45 微米 × 45微米,并联运动,电容传感器,Sub-D连接器
P-541.2CD
带大孔径的XY向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,并联运动,电容传感器,Sub-D连接器
P-541.2CL
带大孔径的XY向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,并联运动,电容传感器,LEMO连接器
P-542.2CD
带大孔径的XY向纳米定位系统,200 微米 × 200微米,并联运动,电容传感器,Sub-D连接器
P-542.2CL
带大孔径的XY向纳米定位系统,200 微米 × 200微米,并联运动,电容传感器,LEMO连接器
P-541.2SL
带大孔径的XY向纳米定位系统,100 微米 × 100微米,应变片传感器,LEMO连接器
P-542.2SL
带大孔径的XY向纳米定位系统,200 微米 × 200微米,应变片传感器,LEMO连接器
P-541.20L
带大孔径的XY向纳米定位系统,100 微米 × 100微米,不带传感器,LEMO连接器
P-542.20L
带大孔径的XY向纳米定位系统,200 微米 × 200微米,不带传感器,LEMO连接器
商品属性 [主动轴] X, Y [行程] Open-loop:150×150µm/60µm×60µm;Closed-loop:100×100µm/45× 45 µm [集成传感器] Capacitive/SGS/- [刚性] 0.47/10N/µm [负载] 20N [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.3/2.5/0.2nm;Closed-loop:0.2/0.1/0.2/nm [压电陶瓷] PICMA® P-885