U-521 PILine®线性定位平台具有超声波压电电机的紧凑型平台
• 快速精密定位小型负载:速度达200毫米/秒,最小位移达0.3微米 • 节约空间:宽度仅为35毫米,高度仅为15毫米
• 关机后自锁:节约能量,减少热量产生 • 静音 • 可按需提供定制设计
精密级线性定位平台
PILine®平台尤其适合要求快速精密定位的应用。关机后,自锁驱动器保持平台位置的机械稳定。因而可大大减少能量消耗和热量产生。蓄电池驱动或热敏型的低占空比应用可得益于这些特点。轴的位置通过一个编码器和一个光学参考开关测量,该开关允许可靠的可重复运动。压电电机驱动器原理及其电气操作成本低,可定制。
PILine®超声波压电电机
作为PILine®超声波压电电机不可或缺的一部分,压电陶瓷促动器上被施加预载,通过一个耦合元件抵住移动导向转子。在100至200千赫兹的高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环;高频率带来高速度。在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁。
采用增量编码器实现直接位置测量
非接触式光学编码器以极高的精度直接在运动平台上测量实际位置,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。
有效专利
美国专利号为6,765,335B2
欧洲专利号为1267425B1
应用领域
显微操纵、自动化、生物科技、样本操作、样本定位、空间有限的应用、真空应用达10-6 百帕(可选)。
规格
U-521.23 U-521.24 单位 公差 运动和定位
主动轴
x
x
行程
18
18
毫米
速度,闭环
200
200
毫米/秒
最大
最小位移
2
0.3
微米
典型值
系统分辨率
0.4
0.1
微米
双向重复性
±2
±0.2
微米
线性误差(全行程范围内)
8
4
微米
螺距
±300
±300
微弧度
偏转角
±300
±300
微弧度
传感器
传感器类型
增量编码器
增量编码器
测量原理
光学
光学
测量方法
直接测量
直接测量
传感器分辨率
0.4
0.1
微米
典型值
机械负载能力
推力
2
2
牛
最大
拉力
2
2
牛
最大
驱动性能
电机类型
PILine®超声波压电电机,性能级别1
PILine®超声波压电电机,性能级别1
驱动力
2
2
牛
最大
保持力
2
2
牛
最大
连接器
电机/传感器
1×Sub-D,15-针(公)
1×Sub-D,15-针(公)
其他
参考点开关
光学
光学
工作温度
0 到 40
0 到 40
°C
材料
铝,阳极氧化致黑
铝,阳极氧化致黑
质量(平台不带电缆和连接器(公头))
40
40
克
质量(平台带电缆和连接器(公头))
160
160
克
电缆长度
1.5
1.5
米
典型值
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
真空兼容型可达10-6 百帕,可按需提供 真空版本的规格可能会有所不同。
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订购信息 U-521.24
带PILine®超声波电机的小型线性平台,宽度为35毫米,驱动力为2牛,行程为18毫米。采用增量编码器实现直接位置测量,
分辨率为0.1微米,Sub-D接头
U-521.23
带PILine®超声波电机的小型线性平台,宽度为35毫米,驱动力为2牛,行程为18毫米。采用增量编码器实现直接位置测量,
分辨率为0.4微米,Sub-D接头
U-521.24V*
带PILine®超声波电机的小型线性平台,宽度为35毫米,驱动力为2牛,行程为18毫米。采用增量编码器实现直接位置测量,
分辨率为0.1微米,Sub-D接头,真空兼容至10-6 百帕
U-521.23V*
带PILine®超声波电机的小型线性平台,宽度为35毫米,驱动力为2牛,行程为18毫米。采用增量编码器实现直接位置测量,
分辨率为0.4微米,Sub-D接头,真空兼容至10-6 百帕
*可按需提供真空版本和特殊设计。
商品属性 [主动轴] X [行程] 18毫米 [集成传感器] 增量编码器 [电机类型] PILine®超声波压电电机,性能级别1 [工作温度] 0~40℃ [分辨率] 0.4/0.1微米 [最小位移] 2/0.3微米