N-565 带线性编码器实现最高精度 具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器
• 超高精度:最小位移为2纳米,直接测量PIOne编码器的分辨率为0.5纳米 • 行程长:13毫米、26毫米或52毫米
• 关机后自锁:节约能量,减少热量产生 • PiezoWalk®技术带来长使用寿命和高可靠性 • 紧凑型设计:宽度为65毫米,高度为20毫米
NEXACT®参考级线性定位器
带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现较长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承,可实现最高精度。紧凑、扁平的设计使定位器能轻松实现机械集成。工作所需电压低。
PiezoWalk®技术:高分辨率、低磨损
PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理,PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。前馈时,促动器被从动轮处物理提升,几乎不会造成任何磨损。在促动器上相对于动轮施加预载可确保步进驱动器自锁。因此,步进驱动器静止状态下将保持位置,关机时可实现机械稳定(无伺服抖动)。静止状态自锁,无能量消耗,无热量产生。
带PIOne线性编码器用于直接位置测量
高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PIOne编码器基于干涉测量原理。其以极高的精度直接在运动平台上进行实际位置测量,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。由于信号周期仅为0.5微米,信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1%。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。
交叉滚子轴承
利用交叉滚柱轴承,滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。
有效专利
在压电陶瓷步进驱动器(NEXACT®和NEXLINE®)技术领域,PI拥有以下专利或专利申请:
DE10148267B4,EP1267478B1,EP2209202B1,EP2209203B1,US6800984B2,DE4408618B4
应用领域
样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。
规格
N-565.160
N-565.260
N-565.360
单位
公差
运动和定位
主动轴
x
x
x
行程
13
26
52
毫米
速度,闭环
10
10
10
毫米/秒
最大
最小位移
2
2
2
纳米
系统分辨率
0.5
0.5
0.5
纳米
双向重复性
12
12
12
纳米
典型值
单向重复精度
±5
±5
±5
纳米
典型值
直线度/平面度
±1
±1
±1.5
微米
典型值
螺距
±30
±40
±80
微弧度
典型值
偏转角
±30
±30
±30
微弧度
典型值
传感器
传感器类型
PIOne线性编码器
PIOne线性编码器
PIOne线性编码器
测量原理
光学
光学
光学
测量方法
直接测量
直接测量
直接测量
传感器分辨率
0.5
0.5
0.5
纳米
机械负载能力
推力
20
20
20
牛
最大
保持力(被动)
10
10
10
牛
最小
驱动性能
电机类型
NEXACT®压电步进驱动器
NEXACT®压电步进驱动器
NEXACT®压电步进驱动器
驱动力
10
10
10
牛
最大
保持力
10
10
10
牛
最小
连接器
电机
1×HDSub-D,15-针,公
1×HDSub-D,15-针,公
1×HDSub-D,15-针,公
传感器
1×Sub-D,15-针,母。
1×Sub-D,15-针,母。
1×Sub-D,15-针,母。
其他
参考点开关
光学
光学
光学
工作温度
10 到 50
10 到 50
10 到 50
°C
工作电压
-10 到 45
-10 到 45
-10 到 45
伏
材料
铝,阳极氧化致黑
铝,阳极氧化致黑
铝,阳极氧化致黑
质量(平台带电缆和连接器)
0.3
0.4
0.6
千克
±5 %
尺寸
65 × 80 × 20
65 × 110 × 20
65 × 160 × 20
毫米
电缆长度
3
3
3
米
±10 毫米
N-565平台系列取代LPS-65系列。
订购信息 N-565.160
精密线性定位平台,行程为13毫米,PIOne线性编码器,分辨率为0.5纳米,驱动力为10牛,尺寸为65×80×20毫米(宽×长×高),
NEXACT®压电步进驱动器
N-565.260
精密线性定位平台,行程为26毫米,PIOne线性编码器,分辨率为0.5纳米,驱动力为10牛,尺寸为65×110×20毫米(宽×长×高),
NEXACT®压电步进驱动器
N-565.360
精密线性定位平台,行程为52毫米,PIOne线性编码器,分辨率为0.5纳米,驱动力为10牛,尺寸为65×160×20毫米(宽×长×高),
NEXACT®压电步进驱动器
询问定制设计!
商品属性 [主动轴] x [行程] 13/26/52毫米 [集成传感器] PIOne线性编码器 [电机类型] NEXACT®压电步进驱动器 [工作温度] 10~50℃ [分辨率] 0.5纳米 [最小位移] 2纳米