A-322.BB1
PIglideHS平面扫描仪,空气轴承,行程为350毫米 × 500毫米,绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪
分辨率为1纳米的XY定位系统
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 行程达500毫米 × 1000毫米
- 负载容量达245牛
- 分辨率达1纳米
- 速度高达2毫米/秒
PIglide参考级XY定位系统
PIglide HS平面扫描仪带磁性线性电机、真空预载和绝对编码器:非接触式无摩擦运动可实现最高精度和可靠性。
绝对编码器
绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。
PIMag®磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。
定位系统设计用于将产出最大化的同时确保最高精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦,不会牺牲系统的刚性。
利用来自领先制造商的数字控制器,操作可提供高级控制算法,以改善动态性和误差补偿。
附件和可选配件
PIglide过滤器和空气预处理器
额外的轴
机器底座
花岗岩底座板和隔振系统
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。
由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使平台成为无尘室应用的优先选择。
A-322.Axx A-322.Bxx A-322.Cxx A-322.Dxx 单位 公差 运动和定位
主动轴
X, Y
X, Y
X, Y
X, Y
行程(桥轴 × 龙门轴)
350 × 350
350 × 500
500 × 500
500 × 1000
毫米
集成的传感器
绝对编码器
绝对编码器
绝对编码器
绝对编码器
传感器分辨率
1
1
1
1
纳米
双向重复性
±0.08
±0.08
±0.08
±0.08
微米
最大
精度*
±0.5
±0.5
±0.5
±0.5
微米
最大
螺距
15
20
30
40
微弧度
最大
偏转角*
5
5
7
7
微弧度
最大
直线度*
±0.5
±0.5
±1
±1
微米
最大
每10毫米行程的直线度*
±10
±10
±10
±10
纳米
最大
平面度
±0.5
±1
±1.5
±2.5
微米
最大
每10毫米行程的平面度
±10
±10
±10
±10
纳米
最大
XY正交性
25
25
25
25
微弧度
最大
速度,空载**
2
2
2
2
米/秒
最大
加速度,桥轴,空载**
20
20
20
20
米/平方秒
最大
加速度,龙门轴,空载**
15
15
12
12
米/平方秒
最大
机械特性
Z向负载能力***
245
245
245
245
牛
最大
移动质量,桥轴
14
14
14
14
千克
移动质量,龙门轴
40
40
43
43
千克
总质量
610
700
1075
1525
千克
导向类型
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
驱动特性
驱动类型
线性电机,无铁芯,三相,
1个至桥轴,2个至龙门轴
线性电机,无铁芯,三相,
1个至桥轴,2个至龙门轴
线性电机,无铁芯,三相,
1个至桥轴,2个至龙门轴
线性电机,无铁芯,三相,
1个至桥轴,2个至龙门轴
中间电路电压,有效
48,标称值
80,最大值
48,标称值
80,最大值
48,标称值
80,最大值
48,标称值
80,最大值
伏直流电
峰值力 #
298
298
298
298
牛
典型值
标称力 #
87
87
87
87
牛
典型值
有效力常数 #
19.9
19.9
19.9
19.9
牛/安
典型值
相间电阻 #
3.6
3.6
3.6
3.6
欧姆
相间电感 #
1.2
1.2
1.2
1.2
毫亨
相间反电动势 #
16
16
16
16
伏·秒/米
最大
布线
移动的带状电缆,无尘室兼容
移动的带状电缆,无尘室兼容
移动的带状电缆,无尘室兼容
移动的带状电缆,无尘室兼容
A-322 工作压力 ## ##
80磅/平方英寸(552千帕)
带外部抽真空的耗气量
< 2 SCFM (56 SLPM)
带内部抽真空的耗气量
< 3.2 SCFM (100 SLPM)
真空
10.8磅/平方英寸(74.7千帕),< 0.5 标准立方英尺每分(14 标准升每分)
空气质量
清洁(过滤达1.0微米或更佳)ISO 8573–1 级别1
无油 - ISO 8573–1 级别1
干燥(-15°C露点) - ISO 8573–1 级别3
材料
硬膜铝和带不锈钢安装材料的镀镍钢,花岗岩底座
*通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。平台必须与控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。
**可能受绝缘系统有效载荷、控制器或驱动器的限制。
***假定有效载荷重心位于平台上方50毫米范围以内的中央。
#驱动器的规格逐电机应用。两个电机位于龙门轴上。
##为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
如未有其他规定,所有规格逐轴应用。
A-322.AB1
PIglideHS平面扫描仪,空气轴承,行程为350毫米 × 350毫米,绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
A-322.BB1
PIglideHS平面扫描仪,空气轴承,行程为350毫米 × 500毫米,绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
A-322.CB1
PIglideHS平面扫描仪,空气轴承,行程为500毫米 × 500毫米,绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
A-322.DB1
PIglideHS平面扫描仪,空气轴承,行程为500毫米 × 1000毫米,绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
商品属性 [主动轴] X ,Y [行程] 350 x 350mm/350x 500mm/500x 500mm/500x 1000mm [集成传感器] Absolute Encoders