U-751 带压电电机的XY位移平台
低外形、快速、直接位置测量
- 紧凑型设计:高度仅为32 毫米,无丝杠管道或凸缘电机
- 分辨率为100 纳米的直接测量线性编码器
- 自锁,静止状态下无热量产生,无伺服抖动
- 通孔尺寸78毫米×78 毫米(最大位移时为65毫米×65 毫米)
- 非接触式限位和参考点开关
精密级XY位移平台
PILine平台尤其适合要求快速精密定位的应用。关机后,自锁驱动器保持平台位置的机械稳定。因而可大大减少能量消耗和热量产生。蓄电池驱动或热敏型的低占空比应用可得益于这些特点。轴的位置通过一个编码器和一个光学参考开关测量,该开关允许可靠的可重复运动。压电电机驱动器原理及其电气操作成本低,可定制。
增量编码器用于高精度位置测量
非接触式光学线性编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
应用领域
科研和工业. 用于显微镜、生物技术、实验室自动化。可按需提供用于标准光显微镜的特殊版本。
PILine超声波压电电机
作为PILine超声波压电电机不可或缺的一部分,压电陶瓷促动器上被施加预载,通过一个耦合元件抵住移动导向转子。在100至200千赫兹的高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环;高频率带来高速度。在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁。
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨,滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
运动
U-751.24
单位
公差
主动轴
X、Y
行程
25 毫米×25毫米
螺距
±50
微弧度
典型值
偏转角
±50
微弧度
典型值
速度,闭环
100
毫米/秒
最大
机械特性
U-751.24
单位
公差
负载能力(1)
50
牛
最大
保持力(被动)
6
牛
最大
驱动特性
U-751.24
单位
公差
电机类型
PILine超声波压电电机,性能级别2
驱动力
7
牛
最大
定位
U-751.24
单位
公差
传感器类型
增量,光学,直接测量
传感器分辨率
0.1
微米
典型值
最小位移
0.3
微米
典型值
双向重复性
±0.3
微米
参考点开关
光学
限位开关
霍尔效应
其他
U-751.24
单位
公差
工作温度范围
-20 到 50
°C
材料
铝(黑色阳极氧化)
质量
1.8
千克
±5 %
电机/传感器连接
2 × Sub-D 15针(公头)
电缆长度
1.5
米
±10 毫米
(1)最大速度下10 牛。
Sonderausführungen auf Anfrage.
U-751.24
带PILine压电电机的XY位移平台,行程为25 毫米 × 25 毫米,驱动力为7 牛,分辨率为0.1 微米
商品属性 [主动轴] x, y [行程] 25 mm × 25 mm [负载] 50N [电机类型] PILine® ultrasonic piezomotor, performance class 2 [工作温度] -20~50℃ [最小位移] 0.3µm [集成传感器] 增量,光学,直接测量