P-612.2SL
XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,孔径为20毫米 × 20毫米,应变片传感器
P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统
结构紧凑,带孔径
- 结构紧凑:表面60毫米×60毫米
- 100微米×100微米闭环行程(130微米×130微米,开环)
- 用于成本关键型应用
- 通孔尺寸20毫米×20毫米
- 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 也可提供紧凑型版本
应用领域
-扫描显微镜 -高吞吐量显微镜 -超分辨率显微镜 -掩模/晶圆定位 -干涉测量 -测量技术 -生物技术 -显微操纵
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
P-612.2SL
P-612.20L
单位
公差
主动轴
X, Y
X, Y
运动和定位
集成传感器
应变片传感器
-
-20至+120 伏时的开环行程
130
130
微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
100
-
微米
分辨率,开环
0.8
0.8
纳米
典型值
分辨率,闭环
5
-
纳米
典型值
线性误差
0.4
-
%
典型值
重复精度
<10
-
纳米
典型值
螺距
±10
±10
微弧度
典型值
X、Y向上的偏转角
±10 / ±50
±10 / ±50
微弧度
典型值
机械特性
刚度
0.15
0.15
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
400
400
赫兹
±20 %
带100克负载时的谐振频率
200
200
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
15 / 5
15 / 5
牛
最大
负载容量
15
15
牛
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
1.5
1.5
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝、钢
铝、钢
质量
105
105
克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
LEMO
LEMO(无传感器)
推荐电控
E-503、E-505、E-621
E-503、E-505、E-621
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-612.20L
XY向纳米定位系统,130微米 × 130微米,孔径为20毫米 × 20毫米,开环
P-612.2SL
XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,孔径为20毫米 × 20毫米,应变片传感器
商品属性 [主动轴] X, Y [行程] Open-loop:130µm;Closed-loop:100µm [集成传感器] SGS [刚性] 0.15 N/µm [负载] 15N [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.8nm;Closed-loop:5nm [压电陶瓷] PICMA® P-885