P-587 六轴精密压电平台
长行程,直接位置测量
-用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和扫描
-线性行程为800 微米×800 微米×200 微米
-最大旋转角度达1微弧度
-并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
-电容式传感器带来最高线性度
-PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
-零间隙,高精度柔性铰链导向系统
-六 自由度主动补偿
应用领域
-干涉测量 -计量 -纳米压印 -半导体测试 -半导体制造
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
P-587.6CD
单位
公差
主动轴
X,Y,Z,θX,θY,θZ
运动和定位
集成传感器
电容式
X、Y向上的闭环行程
800
微米
Z向上的闭环行程
200
微米
θX、θY向上的闭环偏摆角
±0.5
毫弧度
θZ向上的闭环偏摆角
±0.5
毫弧度
X、Y向上的开环/闭环分辨率
0.9 / 2.2
纳米
典型值
Z向上的开环/闭环分辨率
0.4 / 0.7
纳米
典型值
θX、θY向上的开环/闭环分辨率
0.05 / 0.1
微弧度
典型值
θZ向上的开环/闭环分辨率
0.1 / 0.3
微弧度
典型值
X、Y和Z向上的线性误差
0.01
%
典型值
θX、θY、Z向上的线性误差
0.1
%
典型值
X、Y向上的重复精度
±3
纳米
典型值
Z向上的重复精度
±2
纳米
典型值
θX、θY向上的重复精度
±0.1
微弧度
典型值
θZ向上的重复精度
±0.15
微弧度
典型值
平面度
<15
纳米
典型值
机械特性
X/Y/Z向上的刚性
0.55 / 0.55 / 1.35
牛/微米
X/Y/Z向上的空载谐振频率
103 / 103 / 235
赫兹
±20 %
带500克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
88 / 88 / 175
赫兹
±20 %
带2000克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
65 / 65 / 118
赫兹
±20 %
负载能力*
5
千克
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMA
X/Y/Z向上的电容
81 / 81 / 18.4
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝
尺寸
240 毫米 × 240 毫米 × 50 毫米
质量
7.2
千克
±5 %
电缆长度
3.0
米
±10 毫米
传感器/电压连接
2 × Sub-D 25W3(公头)
推荐电控
E-712
* 水平安装时(立于表面上,非悬挂式).
θZ向上的最大旋转角为8 毫弧度,X和Y向上的偏摆角为3 毫弧度。
由于并联运动设计,当平台位于极限偏摆角位置时,X或Y向上的线性运动不可能同步。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-587.6CD
带长行程的六轴纳米定位系统,800微米 × 800微米 × 200微米,±0.5毫弧度,平行计量,电容传感器
商品属性 [主动轴] X,Y,Z,θX,θY,θZ [行程] 800/200um,±0.5/±0.5urad [集成传感器] 电容式 [刚性] 0.55 / 0.55 / 1.35N/um [负载] 5kg [工作温度] -20~80℃ [分辨率] 0.9 / 2.2/0.4 / 0.7nm,0.05 / 0.1/0.1 / 0.3urad [压电陶瓷] PICMA