P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统
六自由度高精度纳米定位系统
-6个运动轴:3个为线性,3个为旋转
-行程达200微米(线性)和1毫弧度(偏摆角)
-并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
-电容式传感器带来最高线性度
-零间隙,高精度柔性铰链导向系统
-优异的扫描平面度
-通孔尺寸66 毫米×66 毫米
-PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
-超高真空兼容至10-9百帕
应用领域
-扫描显微镜 -超分辨率显微镜 -生物技术 -掩模/晶圆定位 -样本定位 -干涉测量 -计量
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
P-562.6CD
单位
公差
主动轴
X,Y,Z,θX,θY,θZ
运动和定位
集成传感器
电容式
X、Y、Z向上的闭环行程
200
微米
θX、θY、θZ向上的闭环偏摆角
±0.5
毫弧度
X、Y、Z向上的闭环分辨率
1
纳米
典型值
θX、θY、θZ向上的闭环分辨率
0.1
微弧度
典型值
X、Y和Z向上的线性误差
0.01
%
典型值
θX、θY、Z向上的线性误差
0.1
%
典型值
X/Y/Z向上的重复精度
±2 / ±2 / ±3
纳米
典型值
θX/θY/θZ向上的重复精度
±0.1 / ±0.1 / ±0.15
微弧度
典型值
平面度
<15
纳米
典型值
机械特性
X/Y/Z向上的空载谐振频率
110 / 110 / 190
赫兹
±20 %
负载能力*
5
千克
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMA
X/Y/Z向上的电容
7.4 / 7.4 / 14.8
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝
质量
1.45
千克
±5 %
电缆长度
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
2 × Sub-D 25W3(公头)
推荐电控
E-712
* 水平安装时(立于表面上,非悬挂式).
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
可按需提供其他行程。
P-562.6CD
PIMars6轴纳米定位系统,200微米,1毫弧度,平行计量
商品属性 [主动轴] X,Y,Z,θX,θY,θZ [行程] 200um,±0.5urad [集成传感器] 电容式 [负载] 5kg [工作温度] -20~ 80℃ [分辨率] 1nm,0.1urad [压电陶瓷] PICMA