P-517.2CD
精密XY向纳米定位系统,100 微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪
高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描器
- 2轴和3轴版本(XY和XYθZ型)
- 行程达200 微米
- 亚纳米级分辨率
应用领域
-计量 -干涉测量 -光子学/集成光学 -平版印刷术 -纳米定位 -扫描显微镜 -样本对准 -微加工
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
P-517.2CLP-517.2CD
P-527.2CLP-527.2CD
P-517.3CLP-517.3CD
P-527.3CLP-527.3CD
P-517.RCD
P-527.RCD
单位
公差
主动轴
X, Y
X, Y
X、Y、Z
X、Y、Z
X、Y、θZ
X、Y、θZ
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
电容式
电容式
电容式
电容式
-20至120 伏时的开环行程
130 微米
250 微米
X、Y:130 微米
Z:25 微米
X、Y:250 微米
Z:25 微米
X、Y:130 微米
θZ:±1.3 毫弧度
X、Y:250 微米
θZ:±2.5 毫弧度
+20 % / -0 %
行程,闭环
100 微米
200 微米
X、Y:100 微米
Z:20
X、Y:200 微米
Z:20
X、Y:100 微米
θZ:±1 毫弧度
X、Y:200 微米
θZ:±2 毫弧度
分辨率,开环
0.3 纳米
0.5 纳米
X、Y:0.3 纳米
Z:0.1 纳米
X、Y:0.5 纳米
Z:0.1 纳米
X、Y:0.3 纳米
θZ:0.1 微弧度
X、Y:0.5 纳米
θZ:0.1 微弧度
典型值
分辨率,闭环
1 nm
2 nm
X、Y:1 纳米
Z:0.1 纳米
X、Y:2 纳米
Z:0.1 纳米
X、Y:1 纳米
θZ:0.3微弧度
X、Y:2 纳米
θZ:0.3微弧度
典型值
线性误差
0.03
0.03
0.03
0.03
0.03
0.03
%
典型值
重复精度
±5 纳米
±10 纳米
X、Y:±5 纳米
Z:±1 纳米
X、Y:±10 纳米
Z:±1 纳米
X、Y:±5 纳米
θZ:±0.5微弧度
X、Y:±10 纳米
θZ:±1微弧度
典型值
机械特性
刚度
2
1
X、Y:2
Z:15
X、Y:1
Z:15
2
1
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
450
350
X、Y:450
Z:1100
X、Y:350
Z:1100
X、Y:450
θZ:400
X、Y:350
θZ:300
赫兹
±20 %
带500 克负载时X、Y向上的谐振频率
250
190
250
190
250
190
赫兹
±20 %
带2500 克负载时X、Y向上的谐振频率
140
110
140
110
140
110
赫兹
±20 %
负载能力*
5
5
5
5
5
5
千克
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
9.2
9.2
X、Y:9
Z:6
X、Y:9
Z:6
9
9
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
铝
铝
铝
铝
质量
1.4
1.4
1.45
1.45
1.4
1.4
千克
±5 %
传感器/电压连接
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 25W3(公头)
Sub-D25W3(公头)
Sub-D25W3(公头)
推荐电控
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
* 水平安装时(立于表面上,非悬挂式).
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-517.2CL
精密XY向纳米定位系统,100 微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,LEMO连接器
P-517.2CD
精密XY向纳米定位系统,100 微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
P-527.2CL
精密XY向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米,电容传感器,平行计量,LEMO连接器
P-527.2CD
精密XY向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
P-517.3CL
精密XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 20 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量
P-517.3CD
精密XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 20 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量
P-527.3CL
精密XYZ向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 20 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量
P-527.3CD
精密XYZ向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 20 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量
P-517.RCD
精密XY向/旋转纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,2 毫弧度,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
P-527.RCD
精密XY向/旋转纳米定位系统,200 微米 × 200 微米,4 毫弧度,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
商品属性 [主动轴] X,Y/X,Y,Z/X,Y,θZ [行程] Open-loop:130µm/X,Y:130µmZ:25µm/X,Y: 130µmθZ:±1.3mrad;Closed-loop:100µm/X,Y:100µmZ:20/X,Y:100µmθZ:±1mrad [集成传感器] Capacitive [刚性] 2N/µm / X,Y:2N/µmZ:15N/µm / 1N/µm [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.3nm/X,Y:0.3nmZ:0.1nm/X,Y:0.3nmθZ:0.1µrad;Closed-loop:1nm/X,Y:1nmZ:0.1nm/X,Y:1nmθZ:0.3µrad [压电陶瓷] PICMA® P-885