P-620.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统,50微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器
多种行程范围和轴配置
-行程为50至1800微米
-分辨率达0.1纳米
-线性误差 0.02 %
-X、XY、Z版本;可提供XYZ组合
-真空兼容版本达10-9百帕
应用领域
-干涉测量 -显微镜 -纳米定位 -生物技术 -测试应用 -半导体技术 -光子 -光纤定位
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
P-620.1CDP-620.1CL
P-621.1CDP-621.1CL
P-622.1CDP-622.1CL
P-625.1CDP-625.1CL
P-628.1CDP-628.1CL
P-629.1CDP-629.1CL
单位
公差
主动轴
X
X
X
X
X
X
运动和定位
P-620.1CDP-620.1CL
P-621.1CDP-621.1CL
P-622.1CDP-622.1CL
P-625.1CDP-625.1CL
P-628.1CDP-628.1CL
P-629.1CDP-629.1CL
单位
公差
集成传感器
电容式
电容式
电容式
电容式
电容式
电容式
-20至120 伏时的开环行程
60
120
300
600
950
1800
微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
50
100
250
500
800
1500
微米
分辨率,闭环/开环
0.2 / 0.1
0.4 / 0.2
0.7 / 0.4
1.4 / 0.5
1.8 / 0.5
3 / 2
纳米
典型值
线性误差,闭环
0.02
0.02
0.02
0.03
0.03*
0.03**
%
典型值
重复精度
±1
±1
±1
±5
±10
±14
纳米
典型值
螺距/偏转角
±3
±3
±3
±6
±6
±30 / ±10
微弧度
典型值
机械特性
P-620.1CDP-620.1CL
P-621.1CDP-621.1CL
P-622.1CDP-622.1CL
P-625.1CDP-625.1CL
P-628.1CDP-628.1CL
P-629.1CDP-629.1CL
单位
公差
运动方向上的刚性
0.42
0.35
0.2
0.1
0.12
0.13
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
1100
800
400
215
125
125
赫兹
±20 %
带20 克负载时的谐振频率
550
520
340
180
115
120
赫兹
±20 %
带120 克负载时的谐振频率
260
240
185
110
90
110
赫兹
±20 %
运动方向上的推/拉力
10
10
10
10
10
10
牛
最大
负载容量
10
10
10
10
10
10
牛
最大
侧力
10
10
10
10
10
8
牛
最大
驱动特性
P-620.1CDP-620.1CL
P-621.1CDP-621.1CL
P-622.1CDP-622.1CL
P-625.1CDP-625.1CL
P-628.1CDP-628.1CL
P-629.1CDP-629.1CL
单位
公差
压电陶瓷
PICMAP–883
PICMAP–885
PICMAP–885
PICMAP–885
PICMAP–887
PICMAP–888
电容
0.35
1.5
3.1
6.2
19
52
微法
±20 %
其他
P-620.1CDP-620.1CL
P-621.1CDP-621.1CL
P-622.1CDP-622.1CL
P-625.1CDP-625.1CL
P-628.1CDP-628.1CL
P-629.1CDP-629.1CL
单位
公差
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
铝
铝
铝
铝
尺寸
30 毫米 × 30 毫米 × 12 毫米
40 毫米 × 40 毫米 × 15 毫米
50 毫米 × 50 毫米 × 15 毫米
60 毫米 × 60 毫米 × 15 毫米
80 毫米 × 80 毫米 × 17 毫米
100 毫米 × 100 毫米 × 22.5 毫米
质量
0.11
0.16
0.2
0.24
0.38
0.72
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
推荐电控
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
*带数字式控制器。带模拟量控制器0.05 %。
**带数字式控制器。带模拟量控制器0.08 %。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
不带传感器的版本的订购编码为P-62x.Z0L;工作温度范围为-20至150 摄氏度;LEMO电压连接。
可提供真空达10-9 百帕的版本,订购编码为P-62x.1UD。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
带Sub-D连接器(公头)的版本
P-620.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统,50微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-621.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统,100微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-622.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统,250微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-625.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统,500微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-628.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统,800微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-629.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统,1500微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
带LEMO连接器的版本
P-620.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统,50微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-621.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统,100微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-622.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统,250微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-625.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统,500微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-628.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统,800微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-629.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统,1500微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
不带位置传感器的线性定位器
P-620.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统,60微米,LEMO连接器,不带传感器
P-621.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统,120微米,LEMO连接器,不带传感器
P-622.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统,300微米,LEMO连接器,不带传感器
P-625.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统,600微米,LEMO连接器,不带传感器
P-628.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统,950微米,LEMO连接器,不带传感器
P-629.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统,1800微米,LEMO连接器,不带传感器
线性定位器,真空兼容达10-9百帕
P-620.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统,50微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器,真空兼容至10-9百帕
P-621.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统,100微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器,真空兼容至10-9百帕
P-622.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统,250微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器,真空兼容至10-9百帕
P-625.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统,500微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器,真空兼容至10-9百帕
P-628.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统,800微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器,真空兼容至10-9百帕
P-629.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统,1500微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器,真空兼容至10-9百帕
商品属性 [主动轴] X [行程] Open-loop:600µm;Closed-loop:500µm [集成传感器] Capacitive [刚性] 0.1N/µm [负载] 10N [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.5nm;Closed-loop:1.4nm [压电陶瓷] PICMA® P-885