P-911K 超高真空兼容型小型压电六足位移台
即使在强磁场下也能精确定位
- 超紧凑型
- 超高真空兼容至10-9百帕
- 无磁性
- 超高精度柔性铰链接头
- 负载能力达1.5公斤
- 行程达1.5毫米/2度
- 带NEXLINE®压电步进驱动器
空间节约型并联运动设计可实现低于90毫米的总高度和仅100毫米的直径。NEXLINE®压电步进电机驱动器和集成式增量传感器可在线性轴上确保低至0.1微米的位置分辨率
定制化解决方案
行程
最大负载
传感器分辨率
尺寸
P-911KNMV小型六足位移台
X、Y、Z:1.5毫米 θX, ΘY, ΘZ: 2°
1.5千克
0.1微米
外径:100毫米 高度:90毫米
P-911KNMV
无磁性,带NEXLINE®压电步进驱动器的超高真空兼容型六足位移台,包含控制器
商品属性 [主动轴] X、Y、Z、θX, ΘY, ΘZ [行程] X、Y、Z:1.5毫米 θX, ΘY, ΘZ: 2° [负载] 1.5kg