P-561.3CL
具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 100 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量
P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台
用于多达3轴的高精度纳米定位系统
-并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
-行程达300 × 300 × 300微米
-电容式传感器带来最高线性度
-零间隙,高精度柔性铰链导向系统
-优异的扫描平面度
-高动态XYZ版本
- 通孔尺寸66 毫米×66毫米
-PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 超高真空版本达10-9百帕
应用领域
-扫描显微镜 -掩模/晶圆定位 -干涉测量 -测量技术 -生物技术 -扫描和筛选
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
P-561.3CDP-561.3CL
P-562.3CDP-562.3CL
P-563.3CDP-563.3CL
P-561.3DD
单位
公差
PIMarsXYZ压电陶瓷纳米定位系统,闭环行程
100 × 100 × 100
200 × 200 × 200
300 × 300 × 300
45 × 45 × 15,直接驱动
微米
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
电容式
电容式
-20至120伏时的开环行程
150 × 150 × 150
300 × 300 × 300
340 × 340 × 340
58 × 58 × 18
微米
+20 % / -0 %
分辨率,开环
0.2
0.4
0.5
0.1
纳米
典型值
分辨率,闭环
0.8
1
2
0.2
纳米
典型值
线性误差
0.03
0.03
0.03
0.01*
%
典型值
X/Y/Z向上的重复精度
2 / 2 / 2
2 / 2 / 4
2 / 2 / 4
2 / 2 / 2
纳米
典型值
X、Y向上的螺距
±1
±2
±2
±3
微弧度
典型值
θX、θY向上的串扰(Z向运动)
±15
±20
±25
±3
微弧度
典型值
X、Y向上的偏转角
±6
±10
±10
±3
微弧度
典型值
X、Y向上的平面度
±15
±20
±25
±10
纳米
典型值
X、Y向上的串扰(Z向运动)
±30
±50
±50
±20
纳米
典型值
机械特性
X/Y/Z向上的空载谐振频率
190 / 190 / 380
160 / 160 / 315
140 / 140 / 250
920 / 920 / 1050
赫兹
±20 %
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
-
145 / 145 / 275
120 / 120 / 215
860 / 860 / 950
赫兹
±20 %
带330克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
140 / 140 / 300
130 / 130 / 195
110 / 110 / 170
500 / 500 / 470
赫兹
±20 %
负载容量**
5
5
5
5
千克
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAP-885
PICMAZ向上的P-885,XY向上的P-888
X/Y/Z向上的电容
5.2 / 5.2 / 10.4
7.4 / 7.4 / 14.8
7.4 / 7.4 / 14.8
38 / 38 / 6
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
铝
铝
质量
1.45
1.45
1.45
1.55
千克
±5 %
传感器/电压连接
CD版本:
Sub-D 25W3(公头),1.5米电缆
CL版本:
LEMO
CD版本:
Sub-D 25W3(公头),1.5米电缆
CL版本:
LEMO
CD版本:
Sub-D 25W3(公头),1.5米电缆
CL版本:
LEMO
CD版本:
Sub-D 25W3(公头),1.5米电缆
CL版本:
LEMO
推荐电控
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727
* 带数字式控制器。 使用模拟控制器测量的直接驱动平台的非线性度高达0.1%的典型值。
** 水平安装时(立于表面上,非悬挂式).
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
超殷钢和钛金属版本可供货。
P-561.3CD
具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 100 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量
P-561.3CL
具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米 × 100 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量
P-561.3DD
PIMars高动态XYZ向纳米定位系统,45 微米 × 45 微米 × 15 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,直接驱动
P-562.3CD
具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 200 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量
P-562.3CL
具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,200 微米 × 200 微米 × 200 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量
P-563.3CD
具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,300 微米 × 300 微米 × 300 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量
P-563.3CL
具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,300 微米 × 300 微米 × 300 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量
商品属性 [主动轴] X,Y,Z [行程] closed-loop:100×100×100/45×45×15µm;Open-loop:150×150×150/58×58×18µm [集成传感器] Capacitive [负载] 50N [分辨率] Open-loop:0.2/0.1nm;Closed-loop:0.8/0.2nm [压电陶瓷] PICMA®P-885(CD,CL);PICMA® P-885in Z,P-888 in XY(DD) [工作温度] -20~80℃