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XY
XYZ
X,Y
X,Y,Z
Z
θX
θX、θY、θZ
θZ
旋转
分辨率:
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0.1nm-1nm
1nm-10nm
<0.01nm
>10nm
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PILine®旋转平台(U-622)
主动轴:
θZ
行程:
>360°
集成传感器:
µrad
电机类型:
PILine® ultrasonic piezomotor, performance class 1
工作温度:
0~40°C
分辨率:
175 µrad
最小位移:
525µrad
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|
比较
PILine®旋转平台(U-624)
主动轴:
θZ
行程:
>360°
集成传感器:
Incremental encoder
负载:
1N
电机类型:
PILine® ultrasonic piezomotor, performance class 1
工作温度:
0~40℃
分辨率:
35µrad
最小位移:
105µrad
收藏
|
比较
PILine®旋转平台(U-628)
主动轴:
θZ
行程:
>360°
集成传感器:
Incremental encoder
负载:
5N
电机类型:
PILine® ultrasonic piezomotor, performance class 1
工作温度:
0 to 40℃
分辨率:
17µrad
最小位移:
51µrad
收藏
|
比较
具有低型面高度设计的转台(U-651)
主动轴:
θZ
行程:
>360°
集成传感器:
Incremental encoder
负载:
20N
电机类型:
PILine® ultrasonic piezomotor, performance class 2
工作温度:
0 to 40℃
分辨率:
9/4µrad
最小位移:
27/12µrad
收藏
|
比较
紧凑型旋转平台(RS-40)
主动轴:
Rotation
行程:
>360°
负载:
20N
电机类型:
DC motor/2-phase stepper motor
工作温度:
*-20 to 65℃
最小位移:
87µrad (0.005°)
收藏
|
比较
紧凑型旋转平台(DT-80)
主动轴:
Rotation
行程:
>360°
负载:
20N
电机类型:
DC motor/2-phase stepper motor
工作温度:
-20 to 65℃
最小位移:
70µrad (0.004°)
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|
比较
旋转平台(DT-34)
主动轴:
θZ
行程:
360°
集成传感器:
旋转编码器/-
负载:
15N
最小位移:
700/350微弧度
收藏
|
比较
精准旋转平台(M-116)
主动轴:
Rotation
行程:
>360°
集成传感器:
Rotary encoder/-
负载:
15N
电机类型:
DC gear motor/2-phase stepper motor
工作温度:
-20 to 65℃
最小位移:
50/25/30µrad
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|
比较
微型六轴位移台(H-811.I2)
刚性:
X / Y:0.7N/µm;Z:8N/µm
负载:
5 / 2.5kg
电机类型:
Brushless DC motor
工作温度:
0~50℃
主动轴:
X,Y,Z,θX,θY,θZ
行程:
±17, ±16mm(x,y)±6.5mm(Z)±10, ±10°(θX,θY)±21(θZ)
最小位移:
X, Y:0.2µm;Z :0.08µm;θX, θY:2.5 θZ:5µrad
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比较
微型六轴位移台(H-811.I2V)
主动轴:
X, Y, Z, θX, θY, θZ
电机类型:
Brushless DC Motor
工作温度:
0~50 ℃
刚性:
X, Y:0.7N/µm;Z :8N/µm
负载:
5/ 2.5kg
最小位移:
X, Y:0.2µm;Z :0.08µm;θX, θY:2.5 θZ:5µrad
行程:
±17, ±16mm(x,y)±6.5mm(Z)±10, ±10°(θX,θY)±21(θZ)
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|
比较
Q-Motion® SpaceFAB(Q-845)
主动轴:
X, Y, Z, θX, θY, θZ
集成传感器:
Incremental linear encoder
刚性:
X,Y: 1N/µmZ:2 N/µm
负载:
X,Y: 0.5NZ:10 N
电机类型:
Piezoelectric inertia drive
分辨率:
1nm
最小位移:
X,Y: 6nm ;Z:20nm; θX, θY, θZ: 0.9µrad
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比较
PIMag®精密线性平台(V-551)
主动轴:
X
行程:
60/130/230毫米
集成传感器:
绝对测量编码器,BiSS
负载:
Z:150牛;Y:50牛
电机类型:
PIMag®线性电机,无铁芯,三相
工作温度:
10 到 50℃
分辨率:
1纳米
最小位移:
2纳米
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|
比较
精密线性平台(LMS-180)
主动轴:
X
行程:
155 / 205 / 305 / 408 / 508mm
电机类型:
Linear motor, ironless
工作温度:
10~50℃
分辨率:
15nm
最小位移:
0.04µm
负载:
250/500N
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|
比较
PIglide AT1小型线性空气轴承平台(A-121)
行程:
50/100/150/200/350毫米
电机类型:
无刷无铁芯线性伺服电机,三相
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|
比较
PIglide AT3小型线性空气轴承平台(A-123)
行程:
50/150/200/350/500/750mm
电机类型:
Brushless ironless linear servo motor, 3-phase
主动轴:
X
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|
比较
PIglide MB小型线性空气轴承平台(A-141)
行程:
40毫米
负载:
3.5公斤
电机类型:
无刷无铁芯线性伺服电机,三相
分辨率:
20纳米
收藏
|
比较
PIglide LC线性空气轴承平台(A-110)
主动轴:
X
集成传感器:
Incremental linear encoder/Absolute Encoder
负载:
in z:100N
电机类型:
Linear motor, ironless,3-phase
行程:
50/100/200/300/400mm
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|
比较
精密线性平台(L-509)
行程:
26 / 52 / 102mm
集成传感器:
Linear encoder/Rotary encoder/-
负载:
100N
主动轴:
X
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|
比较
高精度线性定位平台(M-511)
负载:
1000牛
分辨率:
行程:
102毫米(4")
集成传感器:
线性编码器/旋转编码器/-
电机类型:
带PWM控制的直流电机/直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
10~50℃/-20~65℃
最小位移:
0.1/0.5微米
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|
比较
高精度线性定位平台(M-521)
负载:
1000牛
主动轴:
行程:
204 毫米(8")
电机类型:
带PWM控制的直流电机/直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
10 ~ 50℃ /-20~65℃
最小位移:
0.1/0.5微米
集成传感器:
线性编码器/旋转编码器/-
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|
比较
高精度线性定位平台(M-531)
主动轴:
306 毫米(12")
集成传感器:
线性编码器/旋转编码器/-
负载:
1000牛
电机类型:
带PWM控制的直流电机/直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
10 ~ 50℃ /-20~65℃
最小位移:
0.1/0.5微米
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|
比较
重负载高精度线性平台(HPS-170)
主动轴:
X
行程:
52 / 102 / 155 / 205mm
集成传感器:
Rotary encoder/-/Linear encoder
负载:
350N
电机类型:
DC motor/2-phase stepper motor
工作温度:
5-40℃
最小位移:
0.2/0.05µm
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|
比较
重负载线性平台(LS-180)
主动轴:
X
集成传感器:
Rotary encoder/-/Linear encoder
负载:
1000N
电机类型:
DC motor/2-phase stepper motor
最小位移:
0.5/0.05µm
行程:
155(6”)/205(8")/305(12”)/508(20")mm(inch)
工作温度:
-20~65℃/0~55℃
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|
比较
超重负载线性平台(LS-270)
主动轴:
X
行程:
305(12")/508(20")/815(32")/1016(40")mm(inch)
集成传感器:
Rotary encoder/-/Linear encoder
负载:
1500N
电机类型:
DC motor /2-phase stepper motor
工作温度:
-20~65℃/0~55℃
最小位移:
0.5/0.4/0.05µm
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|
比较
精密线性平台(M-406)
行程:
50 / 100 / 150毫米
集成传感器:
旋转编码器/-
负载:
200牛
电机类型:
直流齿轮电机/带PWM控制的直流电机/两相步进电机
工作温度:
-20到65℃
最小位移:
0.1/0.25微米
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|
比较
精密平移台(M-404)
主动轴:
X
行程:
25 / 50 / 100 / 150 / 200毫米
集成传感器:
旋转编码器/-
刚性:
3牛/微米
负载:
200牛
电机类型:
直流电机,ActiveDrive/直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
-20到65℃
最小位移:
0.25/0.1/0.2微米
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|
比较
精密平移台(M-403)
主动轴:
X
行程:
25 / 50 / 100 / 150 / 200毫米
集成传感器:
旋转编码器/-
刚性:
3.5牛/微米
负载:
200牛
电机类型:
直流电机,ActiveDrive/直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
-20到65℃
最小位移:
0.25/0.2/0.2微米
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|
比较
线性平移台(VT-80)
主动轴:
X
行程:
25 / 50 / 75 / 100 / 150 / 200 / 300mm
集成传感器:
Rotary encoder/-
负载:
50N
电机类型:
DC motor /2-phase stepper motor
工作温度:
-20~65℃
最小位移:
0.5/0.2µm
收藏
|
比较
高负载精密平台(M-414)
主动轴:
X
行程:
100 / 200 / 300毫米
集成传感器:
旋转编码器/-
刚性:
8牛/微米
负载:
500牛
电机类型:
直流电机,ActiveDrive/直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
-20~65℃
最小位移:
0.5/0.1/0.4微米
收藏
|
比较
高负载精密平台(M-413)
主动轴:
X
行程:
100 / 200 / 300毫米
集成传感器:
旋转编码器/-
刚性:
3.5牛/微米
负载:
500牛
电机类型:
直流电机,ActiveDrive/直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
-20~65℃
最小位移:
0.25/0.2/0.2微米
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