P-620.ZCL
精密PIHera 垂直纳米定位平台,50微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器
多种行程范围和轴配置
- 行程为50微米至250微米(开环为350微米)
- 分辨率达0.1纳米
- 线性误差仅0.02%
- 带电容式传感器的直接计量
- X、XY、Z和XYZ型
应用领域
-干涉测量 -显微镜 -纳米定位 -生物技术 -测试应用 -半导体技术
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
P-620.ZCD /P-620.ZCL
P-621.ZCD /P-621.ZCL
P-622.ZCD /P-622.ZCL
单位
公差
主动轴
Z
Z
Z
运动和定位
集成传感器
电容式
电容式
电容式
-20至120 伏时的开环行程
65
140
350
微米
+20 % / -0 %
行程,闭环
50
100
250
微米
分辨率,开环
0.1
0.2
0.5
纳米
典型值
分辨率,闭环
0.2
0.3
1
纳米
典型值
线性误差
0.02
0.02
0.02
%
典型值
重复精度
±1
±1
±1
纳米
典型值
倾斜θX、θY
<20
<20
<80
微弧度
典型值
机械特性
刚度
0.5
0.6
0.24
牛/微米
±20 %
谐振频率,空载
1000
790
360
赫兹
±20 %
带30 克负载时的谐振频率
690
500
270
赫兹
±20 %
推/拉力大小
10 / 5
10 / 8
10 / 8
牛
最大
负载容量
10
10
10
牛
最大
侧向负载能力
10
10
10
牛
最大
驱动特性
陶瓷类型
PICMAP-883
PICMAP-885
PICMAP-885
电容
0.7
3
6.2
微法
±20 %
其他
工作温度范围
-20 到 80
-20 到 80
-20 到 80
°C
材料
铝
铝
铝
尺寸
30 毫米 × 30 毫米 × 15 毫米
40 毫米 × 40 毫米 × 17.5 毫米
50 毫米 × 50 毫米 × 17.5 毫米
质量
0.12
0.17
0.24
千克
±5 %
电缆长度
1.5
1.5
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
CD版本:Sub-D 7W2(公头)
CL版本:LEMO
推荐电控
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
不带传感器的版本的订购编码为P-62x.Z0L;工作温度范围为-20至150 摄氏度;LEMO电压连接。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
P-620.ZCD
精密PIHera 垂直纳米定位平台,50微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-620.ZCL
精密PIHera 垂直纳米定位平台,50微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-620.Z0L
精密PIHera 垂直纳米定位平台,65微米,LEMO连接器,不带传感器
P-621.ZCD
精密PIHera 垂直纳米定位平台,100微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-621.ZCL
精密PIHera 垂直纳米定位平台,100微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-621.Z0L
精密PIHera 垂直纳米定位平台,140微米,LEMO连接器,不带传感器
P-622.ZCD
精密PIHera 垂直纳米定位平台,250微米,直接位置测量,电容传感器,Sub-D连接器
P-622.ZCL
精密PIHera 垂直纳米定位平台,250微米,直接位置测量,电容传感器,LEMO连接器
P-622.Z0L
精密PIHera 垂直纳米定位平台,350微米,LEMO连接器,不带传感器
商品属性 [主动轴] Z [行程] Open-loop:65μm ; Closed-loop:50μm [集成传感器] Capacitive [刚性] 0.5N/μm [负载] 10N [工作温度] -20~80℃ [分辨率] Open-loop:0.1nm ; Closed-loop:0.2nm [压电陶瓷] PICMA® P-883