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Physik Instrumente
Physik Instrumente产品包括,六自由度并联机器人,压电纳米定位台,压电偏转镜,PIFOC 显微物镜定位器,以及直线与旋转定位台等。
官方网站:
http://www.pi-china.cn/
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精密定位系统 (242)
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压电陶瓷Z向/偏摆平台(S-325)
主动轴:
Z,θX,θY
行程:
Open-loop:30µm(in Z); Closed-loop:-/30µm(in Z)
集成传感器:
-/SGS
工作温度:
-20~80℃
分辨率:
Open-loop:0.5nm(in Z) 0.05µrad(in θX, θY);Closed-loop:-/0.6nm(in Z) -/0.1µrad(in θX, θY)
压电陶瓷:
PICMA® P-885
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比较
压电Z向/偏摆扫描仪(S-310)
主动轴:
Z
行程:
Open-loop:6/–µm
刚性:
20N/µm
工作温度:
-20~80℃
分辨率:
Open-loop:0.1nm
压电陶瓷:
PICMA® P-882
收藏
|
比较
压电Z向/偏摆扫描仪(S-311)
主动轴:
Z, θX, θY
行程:
Open-loop:6 / –µm
刚性:
20N/µm
工作温度:
-20~80℃
分辨率:
Open-loop:0.1nm in Z , 0.02µrad in θX,θY
压电陶瓷:
PICMA® P-882
收藏
|
比较
压电Z向/偏摆扫描仪(S-314)
主动轴:
Z
行程:
Open-loop:12/-µm
刚性:
10N/µm
分辨率:
Open-loop:0.2nm in Z
压电陶瓷:
PICMA® P-882
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|
比较
压电Z向/偏摆扫描仪(S-315)
主动轴:
Z, θX, θY
行程:
Open-loop: 12 / –µm
刚性:
10N/µm
工作温度:
-20~80℃
分辨率:
Open-loop:0.2nm in Z ,0.05µrad in θX,θY
压电陶瓷:
PICMA® P-882
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|
比较
压电Z向/偏摆扫描仪(S-316)
主动轴:
Z, θX, θY
行程:
Open-loop:12/12µm;Closed-loop :12µm
集成传感器:
SGS
刚性:
10N/μm
工作温度:
-20~80℃
分辨率:
Open-loop:0.2nm in Z, 0.05 µrad in θX, θY;Closed-loop:0.4nm in Z ,0.1µrad in θX, θY
压电陶瓷:
PICMA® P-882
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|
比较
快速转向镜(S-224)
主动轴:
θX
工作温度:
-20 to 80℃
分辨率:
open-loop:0.05µrad
收藏
|
比较
快速转向镜(S-226)
主动轴:
θX
集成传感器:
SGS
工作温度:
-20 to 80℃
分辨率:
closed-loop/open-loop:0.1/0.05µrad
收藏
|
比较
快速Tip/Tilt偏摆镜,摆台(P-T03)
主动轴:
θX, θY
集成传感器:
应变片传感器
分辨率:
闭环:0.05µrad
收藏
|
比较
快速Tip/Tilt偏摆镜,摆台(P-T04)
主动轴:
θX, θY
集成传感器:
应变片传感器
分辨率:
闭环:1µrad
收藏
|
比较
快速Tip/Tilt偏摆镜,摆台(P-T54)
主动轴:
θX, θY
集成传感器:
应变片传感器
分辨率:
闭环:0.033µrad RMS(1.5m电缆)
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|
比较
PiezoMike直线执行器(N-480)
主动轴:
ƟX, ƟY
电机类型:
PIShift piezo inertia drive
工作温度:
10 to 40℃
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|
比较
Q-Motion®小型线性平台(Q-522)
主动轴:
X
行程:
6.5/13/26mm
集成传感器:
线性编码器
负载:
10N
工作温度:
0~40℃
分辨率:
4nm/1nm
电机类型:
压电惯性驱动器
最小位移:
8/2nm
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|
比较
Q-Motion®小型现行平台(Q-521)
主动轴:
X
行程:
12/22/32mm
集成传感器:
Linear encoder
负载:
10N
电机类型:
Piezoelectric inertia drive
工作温度:
0~40℃
分辨率:
4/1nm
最小位移:
8/2nm
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|
比较
Q-Motion®精密线性平台(Q-545)
主动轴:
X
行程:
13/26毫米
集成传感器:
-/线性编码器
负载:
10牛
电机类型:
压电惯性驱动器
工作温度:
0~50℃
分辨率:
-/1纳米
最小位移:
500(开环)/6纳米
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|
比较
PILine®线性定位平台(U-521)
主动轴:
X
行程:
18毫米
集成传感器:
增量编码器
电机类型:
PILine®超声波压电电机,性能级别1
工作温度:
0~40℃
分辨率:
0.4/0.1微米
最小位移:
2/0.3微米
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|
比较
带线性编码器实现最高精度(N-565)
主动轴:
x
行程:
13/26/52毫米
集成传感器:
PIOne线性编码器
电机类型:
NEXACT®压电步进驱动器
工作温度:
10~50℃
分辨率:
0.5纳米
最小位移:
2纳米
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|
比较
微型线性平台(L-402)
主动轴:
行程:
13mm
集成传感器:
Rotary encoder/-
负载:
10N
电机类型:
DC motor / 2-phase stepper motor
工作温度:
-20 to 65℃
分辨率:
0.012/2.5 (full step)µm
最小位移:
1/0.5µm
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|
比较
紧凑型微米级位移平台(M-110)
主动轴:
行程:
5毫米
集成传感器:
旋转编码器/-
负载:
30牛
电机类型:
直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
-20 到 65℃
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|
比较
紧凑型微米级位移平台(M-111)
行程:
15毫米
集成传感器:
旋转编码器/-
负载:
30牛
电机类型:
直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
-20 到 65℃
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|
比较
紧凑型微米级位移平台(M-112)
行程:
25毫米
集成传感器:
旋转编码器/-
负载:
20牛
电机类型:
直流齿轮电机/两相步进电机
工作温度:
-20 到 65℃
最小位移:
0.05微米/0.2微米
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|
比较
精密微米级平移台(M-122)
主动轴:
行程:
25毫米
集成传感器:
线性编码器
刚性:
0.25牛/微米
负载:
50牛
电机类型:
直流电机
工作温度:
-20~65℃
分辨率:
0.1微米
最小位移:
0.2微米
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|
比较
紧凑线性平台(L-406)
主动轴:
X
行程:
26 / 52 / 102mm
集成传感器:
Rotary encoder/-
负载:
100N
电机类型:
DC motor/DC gear motor/2-phase stepper motor
工作温度:
-20 to 65℃
最小位移:
0.5/0.2µm
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|
比较
微型线性平台(MTS-65)
主动轴:
X
行程:
13 / 26 / 52mm
负载:
10N
电机类型:
2-phase stepper motor
工作温度:
0~50℃
最小位移:
0.1µm
收藏
|
比较
线性滑轨(M-105)
主动轴:
行程:
18毫米
负载:
100牛
最小位移:
0.01微米(压电陶瓷驱动器) 1微米(测微计驱动器)
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|
比较
高动态性PIMag®线性平台(V-522)
主动轴:
X
行程:
5毫米
集成传感器:
光学,增量
负载:
100牛
电机类型:
音圈
工作温度:
18-45℃
分辨率:
10纳米
最小位移:
20纳米
收藏
|
比较
高动态性PIMag®线性平台(V-524)
主动轴:
X
行程:
10毫米
集成传感器:
光学,增量
电机类型:
音圈
工作温度:
18-45℃
分辨率:
10纳米
最小位移:
20纳米
收藏
|
比较
高动态性PIMag®线性平台(V-528)
主动轴:
X
行程:
20毫米
集成传感器:
光学,增量
负载:
100牛
电机类型:
音圈
工作温度:
18~45℃
分辨率:
10纳米
最小位移:
20纳米
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|
比较
Q-Motion微型旋转平台(Q-614)
主动轴:
θZ
行程:
>360°
负载:
1N
电机类型:
Piezoelectric inertia drive
分辨率:
1µrad
最小位移:
100µrad
收藏
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比较
Q-Motion微型旋转平台(Q-632)
主动轴:
θZ
行程:
>360°
集成传感器:
Incremental encoder/-
电机类型:
Piezoelectric inertia drive
分辨率:
0.75µrad/-
最小位移:
3/36 µrad
收藏
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