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六轴精密校准系统(H-206)
主动轴:
X, Y, Z, θX, θY, θZ
工作温度:
5 to 35°C
最小位移:
0.1µm(X,Y,Z) 2(0.4")µrad(θX,θY,θZ )
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比较
六轴控制器定位器(H-820)
主动轴:
X, Y, Z, θX, θY, θZ
工作温度:
0 to 50°C
最小位移:
5um(X, Y, Z) 12.5urad(θX, θY, θZ )
行程:
±50mm(X,Y)±25mm(Z)±15°(θX,θY)±30°(θZ)
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比较
重负载六轴位移台(H-845)
主动轴:
X, Y, Z, θX, θY, θZ
电机类型:
Brushless DC motor
工作温度:
-10~50℃
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比较
大口径高负载六足位移台(M-850KLAH)
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比较
高性价比微米精密定位旋转台(M-R06)
主动轴:
行程:
>360°
负载:
200N
电机类型:
二相步进电机
分辨率:
1.57μrad
最小位移:
25μrad
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比较
六轴精密压电平台(P-587)
主动轴:
X,Y,Z,θX,θY,θZ
行程:
800/200um,±0.5/±0.5urad
集成传感器:
电容式
刚性:
0.55 / 0.55 / 1.35N/um
负载:
5kg
工作温度:
-20~80℃
分辨率:
0.9 / 2.2/0.4 / 0.7nm,0.05 / 0.1/0.1 / 0.3urad
压电陶瓷:
PICMA
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比较
PIMars六轴压电平台系统(P-562.6CD)
主动轴:
X,Y,Z,θX,θY,θZ
行程:
200um,±0.5urad
集成传感器:
电容式
负载:
5kg
工作温度:
-20~ 80℃
分辨率:
1nm,0.1urad
压电陶瓷:
PICMA
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比较
PInano®Cap XY(Z)压电系统(P-545.2C8S)
主动轴:
X,Y
行程:
200 × 200um
集成传感器:
电容式
负载:
0.5kg
工作温度:
15-40℃
分辨率:
<1nm
压电陶瓷:
PICMAP-885
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比较
PInano®Cap XY(Z)压电系统(P-545.3C8S)
主动轴:
X,Y,Z
行程:
200 × 200× 200um
集成传感器:
电容式
负载:
0.5kg
工作温度:
15-40℃
分辨率:
<1nm
压电陶瓷:
PICMAP-885
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比较
紧凑型线性平台(L-505)
主动轴:
X
行程:
13/26mm
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比较
PIMag线性平台(V-408)
主动轴:
X
行程:
25/50mm
负载:
80N(Z向)
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比较
PIMag精密线性平台(V-508)
主动轴:
X
行程:
80/170/250mm
负载:
100N(Z向)
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比较
高负载线性平台(L-417)
主动轴:
X
行程:
102/204/305/407/508/610/813mm
负载:
450N(Z向)
最小位移:
1/2um
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比较
高负载线性平台(L-412)
主动轴:
X
行程:
52/102/204/302/407/508/610mm
负载:
400N(Z向)
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比较
六轴小型六足位移台(H-811.F2)
主动轴:
X,Y,Z,θX,θY,θZ
行程:
±17, ±16mm(x,y)±6.5mm(z) ±10°, ±10°(θX,θY)±21°(θZ)
刚性:
0.7N/µm(x,y)8N/µm(z)
最小位移:
0.2 um(x,y)0.08um(z) 2urad(θX,θY)3urad(θZ)
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比较
六轴运动六足位移台(H-811.S2)
主动轴:
X、Y、Z、θX、θY、θZ
行程:
±17、±16、±6.5mm(x,y,z)±10°、±10°、±21°(θX、θY、θZ)
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比较
超高真空兼容型小型压电六足位移台(P-911K)
主动轴:
X、Y、Z、θX, ΘY, ΘZ
行程:
X、Y、Z:1.5毫米 θX, ΘY, ΘZ: 2°
负载:
1.5kg
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|
比较
六轴六足位移台(H-825)
主动轴:
X,Y,Z,θX,θY,θZ
行程:
±27.5; ±25mm(X,Y)±14(Z)±11.5°; ±10.5°(θX,θY)±19°(θZ)
刚性:
7/1.7N/um
负载:
30 / 10/5/2.5kg
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比较
高负载六轴位移台(H-855)
主动轴:
X, Y, Z, θX, θY, θZ
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比较
六轴运动六足位移台(H-860)
主动轴:
X、Y、Z、θX、θY、θZ
行程:
±7.5mm(X、Y、Z)±4°(θX、θY、θZ)
最小位移:
1um(X、Y、Z)9urad(θX、θY、θZ)
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比较
快速六轴六足位移台(H-900KSCO )
主动轴:
X、Y、Z、θX, ΘY, ΘZ
行程:
X和Y向200毫米,Z向170毫米
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|
比较
精密线性平台(LMS-270)
主动轴:
x
行程:
300/500/800/1000mm
集成传感器:
增量编码器
负载:
500N
最小位移:
0.05um
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比较
带空气轴承的PIglideVC音圈线性平台(A-131)
主动轴:
X
行程:
25mm
负载:
30N(Z向)
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比较
精密平移台(M-126)
主动轴:
X
行程:
25/20mm
集成传感器:
旋转编码器/-
负载:
200N
最小位移:
0.1/0.25/0.5/1um
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|
比较
旋转平台(V-611)
主动轴:
θZ
行程:
>360°
集成传感器:
增量角度测量系统
最小位移:
1urad
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比较
旋转平台(V-610)
主动轴:
θZ
行程:
>360°
集成传感器:
增量角度测量系统
最小位移:
27urad
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|
比较
带空气轴承的PIglideRM转台(A-62x)
主动轴:
旋转
行程:
无限, > 360°
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比较
MGS龙门式直线电机系统(A-351)
主动轴:
XY
行程:
300 500 750 1000mm
负载:
20千克
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比较
PIglide HGS混合龙门系统(A-341)
主动轴:
X,Y
行程:
300 500 750 1000mm
负载:
10千克
收藏
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比较
高精度XY位移平台(V-741)
主动轴:
X, Y
行程:
305 × 305mm
集成传感器:
Incremental linear encoder
负载:
50N
工作温度:
5 to 40℃
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